- 1、本文档共103页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
电子材料表征课件要点
* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 薄膜技术及应用 薄膜技术及应用 薄膜技术及应用 * 3.5 X射线光电子能谱 (X-ray Photoelectron Spectroscopy,XPS) 利用能量较低的X射线作为激发源,通过分析样品发射出来的具有特征能量的电子,实现分析样品化学成分目的。 被激发出的来的电子具有的能量 E=hν-EB 式中:ν — 入射X射线的频率 EB — 被激发出来的电子原来的能级能量 * 作用:元素分析;价态确定;定量分析。 参考书:Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy (Perkin-Elmer) 薄膜材料的表征方法 * 在实际分析工作中,有些XPS 谱中的光电子峰位移小或强度弱,对一些过渡金属如Cu、Zn 等、一些重元素如Ag 等、碱土金属Mg 等,很难唯一指认出元素及其化学价态。因此,可以结合XPS 和XAES,利用修正的俄歇参数(α’)来指认元素及其化学态。 薄膜材料的表征方法 * Cu的XPS参考数值 2p3/2 LMM 薄膜材料的表征方法 * Cu的XPS参考数值 2p3/2 LMM Eb(Cu 2p3/2) = 932.08 eV Eb(Cu LMM) = 569.08 eV Ek(Cu LMM) = 917.52eV 光源 单色化的Al Kα hv=1486.6eV α’ =1849.6eV * 3.6 光致发光(Photoluminescence spectroscopy ,PL) λ=hv/Eg * 3.7 半导体参数测试 测试仪器:Keithley 4200半导体参数测试系统 恒温恒湿测试仪 低温探针台 模拟太阳能光源 * p-n结特性 光伏特性 I-V特性曲线 光响应 转移特性曲线 * 回滞现象 存储特性 The end! * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 薄膜的物理气相沉积 * 溅射产额随入射离子的原子序数周期性变化。惰性气体作为入射离子,溅射产额较高;重离子的溅射产额明显高于轻离子。 薄膜的物理气相沉积 * (3)离子入射角度 θ:离子入射方向与靶面法线方向的夹角。 随着θ增加,溅射产额呈1/cos θ 的规律增加,即倾斜入射角有利于提高溅射产额; 当θ接近80°时,产额迅速下降。 薄膜的物理气相沉积 * 溅射产额随粒子运动方向的变化: 90° 90° 0° 薄膜的物理气相沉积 * (4)靶材温度 薄膜的物理气相沉积 * 与蒸发法相比,溅射法更适用于合金的溅射与沉积。原因: (1)不同元素平衡蒸气压差别很大,而溅射产额差别不大,因此有利于保证薄膜的化学成分与靶材基本一致。 (2) 蒸发法:被蒸发物质多处于熔融状态,本身将发生 扩散、对流,表现出很强的自发均匀化的倾向。 溅射法:靶物质的扩散能力弱。由于溅射产额差别造成的靶材表面成分的偏离很快就会使靶材表面成分趋于某一平衡成分,从而在随后的溅射过程中实现一种成分的自动补偿效应。 * 2.4 化学气相沉积 特点:相对较高的压力环境,无阴影效应 薄膜的化学气相沉积 * 用途: ①固体电子器件所需的各种薄膜、轴承和工 具的耐磨涂层、发动机或核反应堆部件的高 温防护涂层等; ②高质量半导体晶体外延、各种介电薄膜、 绝缘材料薄膜等,如MOS场效应管中多晶Si、 SiO2、SiNx等薄膜。 薄膜的化学气相沉积 * 优点: ①可用于各种高纯晶态、非晶态的金属、半 导体、化合物薄膜的制备; ②能有效控制薄膜的化学成分,生产效率 高,设备和运转成本低,与其他相关工艺相 容性较好等。 薄膜的化学气相沉积 * 化学气相沉积反应的类型: 热解反应,还原反应,氧化反应, 置换反应,岐化反应,气相输运 CVD方法的共同特点: (1) 反应式总可以写成 aA(g) + bB(g) → cC(s) + dD(g) 的形式,即由一个固相和几个气相组成反应式; (2) 这些反应往往是可逆的。 薄膜的化学气相沉积 * H2辅助: CdTe(s)+H2→Cd(g)+H2Te(g)→CdTe(s)+H2(g) T1 T2 气相输运 当物质升华温度不高时,利用升华和冷凝的可 逆过程实现气相沉积。 CdTe(s)→CdTe(g)→CdTe(s) (T1T2=Ts) T1 T2 solid gas film 薄膜的化学气相沉积 * 热力
您可能关注的文档
- 电子显微分析技术实验指导书最新要点.doc
- 电子束粉末床增材制造成形过程的实时可视监控方法要点.docx
- 电子档案方案要点.doc
- 电子教程:JC986A型半双工对讲机实验套件要点.doc
- 第4章水的地质作用概要.ppt
- 电子板报与网页制作要点.ppt
- 第4章虚拟仪器概要.ppt
- 电子测量与仪器7要点.ppt
- 电子材料认识(讲课用)要点.ppt
- 第4章存储器概要.ppt
- 2023版人教版初中数学同步讲义练习8年级下册第十八章 平行四边形 专题18.2 特殊的平行四边形 (教师版).pdf
- TCSHB 0023-2024 中型可编程控制柜设计规范.pdf
- TDGAS 043-2024 服装领域数字化众包平台通用要求.pdf
- TCSMT YB010-2024 液体流量标准装置测控系统.pdf
- TCSAA 26-2024 零件冲击试验方法液滴旋转装置试验.pdf
- 《GB+21454-2021多联式空调(热泵)机组能效限定值及能效等级》最新解读.pdf
- 2023版人教版初中数学同步讲义练习8年级下册第十九章 一次函数 专题19.1 函数(学生版).pdf
- 《GBT 20230-2022磷化铟单晶》最新解读.pdf
- 《GBT 23549-2021丙环唑乳油》最新解读.pdf
- 《GBT 41031-2021液化煤层气》最新解读.pdf
最近下载
- 工程结构健康监测技术规程.pdf VIP
- YST 509.1-2008锂辉石、锂云母精矿化学分析方法 氧化锂、氧化钠、氧化钾量的测定 火焰原子吸收光谱法.pdf
- 社区获得性肺炎诊断和治疗指南.pdf VIP
- 初中美术七年级下册(2024)湘美版(2024)合集.docx
- 解剖独立代理人制度.pptx
- 14日天津市直机关遴选面试真题及解析.docx VIP
- 中央银行学(第五版)全套PPT课件.pptx
- 天翼云解决方案架构师(高级)认证资格考试题(附答案).doc VIP
- 房地产-新发展模式展望系列二:新加坡凯德集团:开发投管有机联动,资产管理能力卓著.pdf VIP
- 新标准大学英语(第二版)综合教程2 课后练习答案.pdf
文档评论(0)