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第七章压电式传感器要点
6.4 压电式传感器测量电路 6.4.2 压电式传感器的测量电路 2.电荷放大器 由一个反馈电容Cf 和高增益运算放大器构成; 由于运算放大器输入阻抗极高,放大器输入端几乎没有分流,所以 Uo——放大器输出电压; Ucf——反馈电容两端电压。 ~ + Ca Q Cc Ci Ri Cf Rf U0 } 传感器 } 电缆 放大器 Ra A 6.4 压电式传感器测量电路 6.4.2 压电式传感器的测量电路 2.电荷放大器 由运算放大器特性,求得电荷放大器的输出电压 当满足A1,而(1+A)Cf Ca+CC+Ci 输出电压与输入电荷量成正比; Uo只取决于输入电荷和反馈电容Cf,与电缆电容Cc无关; 6.5 压电式传感器基本结构和应用特点 1.压电式传感器基本结构 基座和外壳——通常很厚、壳体取用与基座相同的材料; 压电元件——根据需要,取压电晶体或压电陶瓷。结构形式多采用 双晶片并联形式; ③ 敏感元件——如,加速度传感器:m-k-c系统, ④ 预载件——如压块、弹簧或螺栓螺母等, 用于对压电元件施加预紧力。 ⑤ 引线及接插件,用于与外接电缆连接 加速度传感器 等效机械模型 6.5 压电式传感器基本结构和应用特点 2.压电式传感器应用——压电式加速度传感器 当加速度传感器和被测物一起受到冲击振动时,压电元件受质量块惯性力的作用,根据牛顿第二定律,此惯性力是加速度的函数, 即 F=ma F——质量块产生的惯性力;m——质量块的质量; a——加速度。 此时惯性力F作用于压电元件上,因而产生电荷q,当传感器选定后,m为常数, 则传感器输出电荷为 6.5 压电式传感器基本结构和应用特点 2.压电式传感器应用——压电式压力传感器 当膜片受到压力F作用后,在压电晶片表面产生电荷,在一个压电片上所产生的电荷为 引线 壳体 基座 压电晶片 受压膜片 导电片 p 压电式压力传感器的输出电荷q与输入压强P成正比。 6.6 影响压电式传感器工作的主要因素 (1)横向灵敏度 ? 横向灵敏度是衡量横向干扰效应的指标。 一只理想的单轴压电传感器,应该仅敏感其轴向的作用力,而对横向作用力不敏感。 产生原因:压电片制造得作用面不平行,粗糙,以及安装不精确,使得力轴Sm与电轴SL(极化轴)不重合,二者成?角。 6.6 影响压电式传感器工作的主要因素 (2)环境温度和湿度 环境温度对传感器的影响主要通过三个因素: ① 压电材料的特性参数; ② 某些压电材料的热释电效应(当一些晶体受热时,在晶体两端将会产生数量相等而符号相反的电荷。由于热变化而产生的电极化现象——热释电效应 ); ③ 传感器结构。 (3)安装差异和基座应变 (4)噪声等 7.2 压电传感器的等效电路 (2)等效电路 (a)电荷等效电路 (b)电压等效电路 (a)等效电荷源q (b)等效电压源Ua 特点:压电晶体不适合静态测量 传感器内部信号电荷无“漏损”,外电路负载无穷大时,压电传感器受力后产生的电压或电荷才能长期保存,否则电路将以某时间常数按指数规律放电。 这对于静态标定以及低频准静态测量极为不利,必然带来误差。 事实上,传感器内部不可能没有泄露,外电路负载也不可能无穷大,只有外力以较高频率不断地作用,传感器的电荷才能得以补充。 因此,压电晶体不适合于静态测量。 当力的方向改变时,电荷的极性随之改变,输出电压的频率与动态力的频率相同; 当动态力变为静态力时,电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。 石英晶体的压电效应演示 7.2 压电传感器的等效电路 (3)实际应用中,压电传感器的完整等效电路 完整电荷源等效电路 完整电压源等效电路 Ca:传感器的固有电容 Ci:前置放大器输入电容 Cc:连线电容 Ra:传感器的漏电阻 Ri:前置放大器输入电阻 由于压电式传感器的输出电信号很微弱,不能直接显示和记录; 通常先把传感器信号先输入到高输入阻抗的前置放大器中,经过阻抗交换以后,方可用一般的放大检波电路再将信号输入到指示仪表或记录器中; 测量电路的关键在于高阻抗输入的前置放大器; 压电式传感器要求测量电路的输入阻抗很高,防止电荷泄露,而增大测量误差; 前置放大器两个作用:①把压电式传感器的高输出阻抗变换成低阻抗输出 ②放大压电式传感器输出的微弱信号 7.2 压电传感器的等效电路 (4)测量电路 7.2 压电传感器的等效电路 (4)测量电路 前置放大器形式: 电压放大器:其输出电压与输入
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