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第十章 数字式传感器 第10章 数字式传感器 第10章 数字式传感器 数字式传感器:能把被测（模拟）量直接转换成数字量输出的传感器 数字式传感器具有下列特点： 1.具有高的测量精度和分辨率，测量范围大； 2.抗干扰能力强，稳定性好； 3.信号易于处理、传送和自动控制； 4.便于动态及多路测量，读数直观； 5.安装方便，维护简单，工作可靠性高。 第10章 数字式传感器 感应同步器是应用电磁感应原理把位移量转换成数字量的传感器。 感应同步器是一种多极感应元件，由于多极结构对误差起补偿作用，所以用感应同步器来测量位移具有精度高、工作可靠、抗干扰能力强、寿命长、接长便利等优点。 第10章 数字式传感器 第10章 数字式传感器 第10章 数字式传感器 一、感应同步器的工作原理 定尺中的感应电势随滑尺的相对移动呈周期性变化； 定尺的感应电势是感应同步器相对位置的正弦函数。 若在滑尺的正弦与余弦绕组上分别加上正弦电压us＝Ussinωt和uc＝Ucsinωt，则定尺上的感应电势es和ec可用下式表达： 其中：K——耦合系数； θ——与位移x等值的电角度，θ＝2πx／W2 第10章 数字式传感器 第10章 数字式传感器 对于不同的感应同步器，若滑尺绕组激磁，其输出信号的处理方式有:1.鉴相法 2.鉴幅法 3.脉冲调宽法三种。 第10章 数字式传感器 所谓鉴相法就是根据感应电势的相位来测量位移。采用鉴相法，须在感应同步器滑尺的正弦和余弦绕组上分别加频率和幅值相同，但相位差为V2的正弦激磁电压，即us＝Um·sinωt和uc＝Umcosωt。 第10章 数字式传感器 第10章 数字式传感器 第10章 数字式传感器 第10章 数字式传感器 第10章 数字式传感器 第10章 数字式传感器 二、数字测量系统 鉴相法测量系统 图10－9为鉴相法测量系统的原理框图。它的作用是通过感应同步器将代表位移量的电相位变化转换成数字量。鉴相法测量系统通常由位移－相位转换，模一数转换和计数显示三部分组成。 第10章 数字式传感器 第10章 数字式传感器 位移－相位转换的功能是通过感应同步器将位移量转换为电的相位移。 模数转换的主要功能是将代表位移量θ（定尺输出电压的相位）的变化再转换为数字量。 鉴相器是一个相位比较装置，其输人来自经放大、滤波、整形后的输出信号e，以及相对相位基准输出信号θ’o。 相对相位基准（脉冲移相器）实际上是一个数模转换器、它是把加。减脉冲数转换为电的相位变化。 模数转换的关键是鉴相器。 第10章 数字式传感器 由以上分析可见鉴相法测量系统的工作原理是： 当系统工作时，θ≈θ’，相位差小于一个脉冲当量。若将计数器置‘0’，则所在位置为“相对零点”。 假定以此为基准，滑尺向正方向移动，Δθ的相位发生变化，θ与θ’之间出现相位差，通过鉴相器检出相位差Δθ，并输出反映θ’滞后于θ的高电平。 该两输出信号控制脉冲移相器，使矿产生相移，θ’趋近于θ。当到达新的平衡点时，相位跟踪即停止，这时θ≈θ’。 在这个相位跟踪过程中，插人到脉冲移相器的脉冲数也就是计数脉冲门的输出脉冲数，再将此脉冲数送计数器计数并显示，即得滑尺的位移量。 另外，不足一个脉冲当量的剩余相位差，还可以通过模拟仪表显示。 第10章 数字式传感器 鉴幅法测量系统 此系统的作用是通过感应同步器将代表位移量的电压幅值转换成数字量。 第10章 数字式传感器 第10章 数字式传感器 三、感应同步器的接长使用 感应同步器可用于大量程的线位移和角位移的静态和动态测量。 在数控机床、加工中心及某些专用测试仪器中常用它作为测量元件。 与光栅传感器相比，它抗干扰能力强，对环境要求低，机械结构简单，接长方便。 目前在测长时误差约为±1μm/250mm，测角时误差约为±0.5”。 第10章 数字式传感器 第10章 数字式传感器 光电转换 为了进行莫尔条纹读数，在光路系统中除了主光栅与指示光栅外，还必须有光源、聚光镜和光电元件等。图10－13为一透射式光栅传感器的结构图。主光栅与指示光栅之间保持有一定的间隙。光源发出的光通过聚光镜后成为平行光照射光栅，光电元件（如硅光电池）把透过光栅的光转换成电信号。 第10章 数字式传感器 第10章 数字式传感器 当两块光栅相对移动时，光电元件上的光强随莫尔条纹移动而变化。如图10－14所示，在a位置，两块光栅刻线重叠，透过的光最多，光强最大；在位置c，光被遮去一半，光强减小；在位置d，光被完全遮去而成全黑，光强为零。光栅继续右移；在位置e，光又重新透过，光强增大。在理想状态时，光强的变化与位移成线性关系。但在实际应用中两光栅之间必须有间隙，透过的光线有一定的发散，达不到最亮和全黑的状态；再加上光栅