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微波真空电子器件的发展战略 廖复疆 中国电子科技集团公司第十二研究所 摘要：本文讨论了真空电子器件进一步发展的前景、方向和技术路线图。指出真空电子器件的小型化和 集成化对提高我国装备的性能和战斗能力有重要的作用。真空电子器件虽然有百年发展历史，但今天它 仍然是处在发展中的一种器件，它和微电子、光电子和新材料科学的融合，不仅产生了新的器件，还将 给装备带来新的性能和战斗能力。 主题词：微波，小型化，集成，真空电子 一、 引言 随着有源相控阵天线体制和第三代宽禁带微波半导体功率器件的发展,近年来在国内外都进行了一 [1]-[4] 场关于微波真空电子器件与微波半导体功率器件如何发展的讨论 。讨论集中在微波半导体功率器件 能否取代真空电子器件?微波真空电子器件应当如何发展这两个问题上？今年5 月21-23 日在巴黎召开 的第14 届国际真空电子学会议(IVEC2013),5篇大会报告中有2 篇谈到此问题,反映了当代科学技术发 展的迅速，各领域间竞争与融合的大趋势。L-3 公司的Dr.Armstr