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330GHz砷化镓单片集成分谐波混频器 刘戈1，2，张波1,2，张立森2，王俊龙2，邢东2，樊勇1 (1.电子科技大学 电子工程学院,成都市 611731 2.中国电子科技集团第十三研究所中国电子科技集团第十三研究所: TN773.2 文献标识码: A 330GHz GaAs monolithic integrated sub-harmonic mixer Liu Ge1,2, Zhang Bo1,2, Zhang Li-sen2, Xing Dong2, Wang Jun-long2, Fan Yong1 (1.School of Electronic Engineering, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu, 611731, China；2. National Key Laboratory of Application Specific Integrated Circuits, Hebei Semiconductor Research Institute, Shijiazhuang 050000, China) Abstract: In the terahertz band, diode size can no longer be ignored compared with the wavelength, significant parasitic parameters will be introduced due to diode package, so it is very necessary to establish three-dimensional model to extract parasitic parameters. Meanwhile manual assembly becomes more difficult, circuit uncertainty will increase. A 330GHz GaAs monolithic integrated sub-harmonic mixer based on planar schottky barrier diode designed by China Electronics Technology Group Corporation-13(CETC-13) and University of Electronic Science and Technology of China(UESTC) fabricated on 12um thick suspended GaAs substrate was presented. Test results show that the minimum conversion loss is 10.4dB at 328GHz, SSB conversion loss was less than 14.7dB from 320GHz to 340GHz when the LO power is 5mW. Key words: terahertz; monolithic integrated sub-harmonic mixer; schottky diode; GaAs; conversion loss; PACS: 07. 57. Kp 引言 太赫兹波是指位于微波与光波之间的电磁波谱，国内一般定义为0.1-10THz[1]。由于其在光谱中的特殊位置，使其具有很多特性，如穿透性，太赫兹波对于某些介质材料具有强穿透性，可用于新型机场安检[2]；对人体某些组织成像对比率高，能量低，不会对人体组织造成电离辐射，在医疗检测中--------------------------------- 收稿日期： ；修返日期： 基金项目：国家自然基金（No；中央高校基本业务费（No.ZYGX2015J017）；国家国际合作专项（No.2014DFA11110） 作者简介: 刘戈(1988-),性别：女 辽宁海城人, 博士生,主要研究领域为毫米波、太赫兹器件 E-mail：liuge041314@163.com有广阔的应用前景[3]；由于氧分子和水分子在特定频段会形成太赫兹波吸收峰，可将太赫兹波用于气象监测[4]；存在多个大气窗口，在太赫兹高速通信方面潜力巨大[5]。 太赫兹雷达及通信系统中，最重要的任务是实现频率的搬移，即将太赫兹频段信号下变频至兆赫兹或者吉赫兹进行信号处理。太赫兹接收机一般采用超外差形式，混频器则是超外差式