Agilent4294阻抗分析仪测量核磁共振检测平面微线圈射频参数.PDF

Agilent 4294 阻抗分析仪测量核磁共振检测平面微线圈射频参数 李晓南 中国科学院电工研究所生物医学工程研究部 董斌 安捷伦科技公司高级工程师 背景介绍 随着微纳加工技术的发展，核磁共振波谱仪也朝着小型化方向发展，特别是微探头的出 现，使得纳升级生物化学样品的检测成为可能，一方面适用于贵重稀有样品，另一方面，被 测样品体积与检测灵敏度的(1/3)成反比，即体积减小6 个数量级，灵敏度将提高2 个数量 级。 基于国外最新研究成果，本研究部自行研发出一种核磁共振微探头关键部件——平面型 微线圈，结合样品承载用微流控芯片，微探头示意图如图 1 所示。 图1 核磁共振检测微探头 目前，利用源自半导体工业的微电子机械系统（Micro Electromechanical System, MEMS）工艺加工得到一组平面微线圈，如图2 所示。 图2 电镀成形平面微线圈阵列及单个线圈照片 图中，线圈通过金种子层粘于玻璃衬底上。各线圈几何参数如表1 所示。 表 1 线圈几何参数表 编号 r (µm) w/s (µm) N 形状 编号 r (µm) w/s (µm) N 形状 i i 200_1 200 20 6 圆形 500_1 500 20 9 圆形 200_2 30 4 500_2 40 7 200_3 40 3 500_3 80 3 200_4 80 1 500_4 40 7 方形 200_5 20 6 方形 250_1 250 20 7 圆形 1000_1 1000 80 7 圆形 250_2 30 5 1000_2 80 7 方形 250_3 40 3 250_4 80 2 250_5 30 5 方形 表中，r 为线圈内半径，w 、s 分别为导线宽度和间距，N 为圈数。r 取值不同对应于不同的 i i 被测样品体积。根据经典射频参数理论计算公式，预测得到几个线圈的电阻、电感和品质因 数值如表 2 所示。注，由于设计问题，同一衬底中存在不同线宽的线圈图形，导致最终电 镀成形的线圈仅为各对应内半径中的大线宽线圈。基于无限大平板金属导电模型的射频电阻 计算公式为 l c Rc ρ S eff （1） ( )( )