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11 16 2011 6 科 学 技 术 与 工 程 Vol. 11 No. 16 June 2011 第 卷 第 期 年 月 167 1— 1815 (2011)16-3632-05 Science Technology and Engineering 2011 Sci. Tech. Engng. 一般工程技术 DBD 放电产生等离子体的能效影响因素研究 刘海涛 何 伟 陈志刚 刘汝兵 林 麒* ( ， ， 361005) 福建省等离子体和磁共振重点实验室 厦门大学物理与机电工程学院 厦门 (DBD) ， ， ， DBD 摘 要 为提高真空下介质阻挡放电 的电源效率 考察其能效特性 利用正交设计法安排实验 研究了 放电等离 、 、 DBD ， 子体激励电源的工作频率 占空比 放电环境气压和电极间隙对 放电能效的影响 通过方差分析寻找最优组合使电源效 。 ， ， ， 率最大化 研究结果表明 占空比是影响电源效率的主要因素 放电环境气压影响其次 加载电源频率和电极间隙大小对电 源效率影响不显著。 关键词 介质阻挡放电 低温等离子体 电源效率 能效特性 正交设计法 中图法分类号 TB77 1 TM835 ; 文献标志码 A 介质阻挡放电 (DBD :dielectric barrier dis- charge)， ， 、 也称无声放电 是一种非平衡态的 非稳定 1 实验装置 。 的和不均匀的放电 由于这种放电方式很容易在 大气压下形成稳定的气体放电并产生等离子体，因 1． 1 放电装置 此广泛应用于臭氧制备、 、 、 DBD 1 。 紫外光源 材料改性 薄膜 本文设计的 放电装置如图 所示 电极 ［1，2］ 。 ， 。 沉积及废气处理等领域 采用平行板形式 置于密闭的放电容器内 放电容 虽然介质阻挡放电已经在很多方面得到了应 器与真空泵相连接，使得容器内的气压在0 ～ 100 ， kPa 。 用 但国内对其放电的能效特性研究还很不深 范围内连续可调 ［3］ 。 DBD ， 入 本文以 放电能效特性为考察指标 采用 正交试验法研究了改变等离子体激励电源的工作 、 、 频率 占空比 放电环境气压和电极间隙对放电能 ， ; 效的影响 通过较少的实验找出最佳放电条件 利 ， 用方差分析确定了各因素作用的主次顺序 以及对 ， 能效指标影响的显著程度 找出了各因素在实验范 。 DBD 围内放电的最优组合 为以后更好地提高 激 ， 。 励源的放电效率 有很好的指导意义和