FEI公司麦哲伦的XHR扫描电子显微镜.PDF

产品数据 Nova™ NanoSEM 30 系列 最通用的超高分辨率场发射扫描电子显微镜 (FESEM) 具备超低电压成像和分析能力以及 独一无二的低真空性能，可满足最苛刻的 纳米级表征要求 Nova™ NanoSEM 30 系列超高分辨率场发射SEM 经过专业配置，可获取低至纳米 尺度的最广泛样品的最大量信息。Nova NanoSEM 30 系列极大地扩展了其前任前 代产品在低电压和超低电压表征及分析方面的能力：100 V 以下成像、高表面灵 敏度、超低电压背散射电子以及更快分析现已成为可能。 Nova NanoSEM 30 具有高级光学系统，包括一个双模最终透镜 （不受场约束和沉 浸）、SE/BSE 透镜内探测 （经由透镜的探测器TLD）和射束减速技术，它是实现 高真空条件超低电压下超高分辨率表征的全面解决方案。Nova NanoSEM 30 系列 独一无二的低真空表征能力进一步增强了此方面的功能：由于Helix™ 探测器技 术，超高分辨率甚至可以在非导电纳米材料或设备上实现。使用低真空模式，可 有效抑制以前在样本处理步骤中产生的电子束诱导性污染。 Nova NanoSEM 30 还提供最全面的nanoprototyping 制造工具组合，包括板载数字 图案生成器和专用制图软件、高速静电射束熄灭装置、用于直接电子束写入式纳 米结构的气体注射系统，以及Nova NanoSEM 630 配置的独特高度精确且稳定的 150mm 压电驱动样品台。 主要优点 Nova NanoSEM 30 还提供最全面的nanoprototyping 制造工具组合，包括板载数字 • 场发射SEM （带超稳定且高电流Schottky 电 图案生成器和专用制图软件、高速静电射束熄灭装置、用于直接电子束写入式纳 子枪） 米结构的气体注射系统，以及Nova NanoSEM 630 配置的独特高度精确且稳定的 • 先进的光学和探测性能，包括沉浸模式、 150mm 压电驱动样品台。 束加速、透镜内TLD-SE 和TLD-BSE、vCD 和 STEM，以实现最佳信息和图像优化选择 • 射束着陆能量、低至50 V • 92 nm @ 1 kV ，非射束减速 • 全球唯一真正的高分辨率低真空场发射扫描 电子显微镜(FESEM) ：1.8 nm @ 3 kV • 最高100 nA ，适于高或低真空分析 • 集成式12 位扫描/制图引擎解决方案 （标准 电子束原型制造） • 超洁净、滚动和涡轮抽气真空系统 • 150 x 150 mm 高度精确、稳定的压电驱动样 品台(Nova NanoSEM 630) 产品数据 Nova™ NanoSEM 30 系列 Nova NanoSEM 30 系列主要特征 独一无二的图像优化能力 高性能双模最终透镜 • 具有超高分辨率性能的沉浸模式，在工作距离更长和样品倾 斜时尤其突出 • 不受场约束模式，适于灵活的高分辨率工作，包括电子背散 射衍射分析(EBSD) 多部探测器系统，可实现最大的分析灵活性