真空的获得与测量-中山大学物理学院2016.pdfVIP

物理学院 近代物理实验I 真空的获得与测量 13 级材料物理 合作人： 指导老师： 实验时间：2016.12.13、2016.12.20 一、 实验目的 1、熟悉真空技术的基本知识； 2、用膨胀法校准热偶真空计。 二、 实验原理 1、真空度及真空区域的划分 19 真空是指充有低于一个大气压压强的气体的给定空间。即分子密度小于 2.5×10 分子 3 数∕cm 的给定空间。真空度的国际单位是Pa。 1Torr 133.3324Pa;1Pa 7.50062 103Torr;1Torr 1mmHg 按照气体空间的物理特性常用真空泵和真空规的有效使用范围以及真空技术运用的特 点，将真空定性地划分为五个区段： （1）粗真空： 5 3 ； 1.01310 ～1.33310 Pa （2）低真空： 3 1 ； 1.33310 ～1.33310 Pa （3）高真空：1.333101～1.333106 Pa ； （4）超高真空: 1.333106～1.3331010 Pa ； （5）极高真空: ＜1.3331010 Pa 。 2、低真空的获得 获得低真空的常用的方法是机械泵。机械泵是运用机械方法不断地改变泵内吸气空腔的 容积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空的泵。目前常用的是旋片式机械泵。 3、高真空的获得 最早用来获得高真空的泵是扩散泵，扩散泵是靠油的蒸发－喷射－凝结重复循环来实现 抽气的，由于射流具有高流速（约 200m/s ），高的蒸汽密度，且扩散泵油分子量大（300～ 500 ），故能有效的带走气体分子。气体分子被带往出口处再由机械泵抽走。 1 / 6 物理学院 近代物理实验I 4、真空的测量 测量真空度的装置称为真空计或真空规。真空计分两大类：一类是能够从它本身所测量 的物理量直接算得压强的，称为绝对真空计，例如U 形管真空计（硅油、水银）；另一类则 依靠校准才能算得压强的，称为相对真空计，如热电偶真空计和热阴极电离真空计等。 （1） 热电偶真空计。利用气体的热传导系数随压强改变的关系来测量真空度，通常 -3 是用来测量低真空的真空计，测量范围一般为1~10 Torr 。 图1、国产DL-3 型热电偶规管的校准曲线（范围两段为非线性） （2 ）阴极电离真空计。它通常是用来测量高真空的真空计。实践证明，在10-1~10-8Torr 范围内，压强与正离子流成线性关系。但这里特别要注意的是：由于电离规管的阴极需要高 温才能发射电子的，如果真空度不够10-4Torr 以上，这时通电加热阴极的灯丝就会很快把阴 -4 极氧化而烧掉，所以一定要使真空度在10 Torr 以上才允许开电离真空计工作。 5、真空的检漏 真空检漏是真空技术中非常重要的一个环节。实际的真空系统如果达不到预计的极限真 空，在排除材料放气和泵工作不正常后，主要是对系统进行检漏。实验中主要使用两种检漏 方法：（1）高频火花检漏法；（2 ）真空计检漏法。 6、热电偶真空计的校准与相关传感技术 静态膨胀法使基于波意耳-马略特定律，即在恒定的温度下，PV = 常数。如下图2 是膨 胀法