划痕试验法表征薄膜涂层界面结合强度.pdfVIP

第 卷第 期 24 2 江苏大学学报（自然科学版） Vol .24 No .2 年 月 2003 3 （ ） Mar .2003 Journal of Jian su Universit Natural science edition g y !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 划痕试验法表征薄膜涂层界面结合强度 1 1 2 1 冯爱新 ，张永康 ，谢华琨 ，范 真 （ 江苏大学机械工程学院，江苏镇江 ； 成都工具研究所，四川成都 ） 1 . 212013 2 . 610056 ［摘 要］薄膜 基体界面结合性能是直接关系到膜 基体系最终使用性能和可靠性的关键因素 和首要指标 划痕试验法是唯一广泛应用于测量硬质薄膜 基体界面结合强度的实用的检验方 . 法 文中给出划痕试验法表征薄膜涂层界面结合强度的原理、方法与过程，以及临界载荷 的确 . ! c 定方法，分析影响临界载荷! 和压头与薄膜 基体组合体之间摩擦系数 因素 最后，介绍了常 c ! . 用划痕试验检测的薄膜体系及其特点与划痕形貌 . ［关键词］薄膜涂层；结合强度；划痕试验法 ［中图分类号］ ［文献标识码］ ［文章编号］ （ ） TB43 A 1671 7775 2003 02 0015 05 磨损、腐蚀和疲劳是零件或构件在工作过程中 条件，也是涂层制造过程中普遍关心的问题 . 涂层 失效的最主要的三种形式，尤其是在高速、高温、高 与基体的结合强度是影响涂层质量的首要指标 . 压、重载、腐蚀介质等工作条件下，往往因零件或构 测量薄膜涂层界面结合强度的试验方法很多， 件表面局部损坏而使其失效，最终导致设备报废 . 有划痕法、压痕法、弯曲法、冲击法、拉伸法及断裂力 ［］ 而这些失效现象，大都发生在材料表面，因而采取各 学法等355 种3 . 在所有实用的膜 基界面结合强 种手段以提高材料的表面性能，无疑是增加零件安 度检验方法中，尤其是硬质薄膜 基体界面结合强 全可靠性或延长使用寿命的非常有效的措施 . 度的检验方法中，仅划痕检验法得到广泛的应用 . 表面涂层技术是提高材料表面性能的重要手段 划痕检验操作简便、直观、可量化，且在一定程度上 之一（另一重要手段是表面改性技术），是用极少量