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品质因数对薄膜体声波谐振器振荡器频率稳定度的影响
第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ,
29 5 Vol.29 No.5
年 月 ,
2017 5 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Ma 2017
y
品质因数对薄膜体声波谐振器振荡器
频率稳定度的影响*
,
1 2 1 3 13
尹汐漾 , 袁明权 , 韩 宾 , 吕军光 , 王宇航
( , ; , ;
1.西南科技大学 信息工程学院 四川 绵阳 621010 2.中国工程物理研究院 电子工程研究所 四川 绵阳 621999
, , )
3.中国科学院 高能物理研究所 核探测与核电子学国家重点实验室 北京 100049
: ( ) , ( ) (
摘 要 在薄膜体声波谐振器 振荡器中 振荡器的有载品质因数 和 的品质因数
FBAR QL FBAR Q
) 。 ,
值 均与振荡器的频率稳定度有关 为了研究这两种品质因数对 FBAR振荡器频率稳定度的影响 在 COM-
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SOLMultihsics软件中建立了FBAR的多物理场模型 通过频域仿真和 MBVD ModifiedButterworthVan
py -
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模型参数拟合 得到了 模型参数 并在 软件中建立了 模型电路 通过 参数仿真结
Dke MBVD ADS MBVD S
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合求取 值的 法得到了不同损耗对应的 值 再建立基于 架构的振荡器 通过谐波平衡仿真得到
Q Bode Q Pierce
, 。 :
了相位噪声 通过分别改变 和 得到了二者对 振荡器频率稳定度的影响 结果表明 频率稳定度随
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