基于偏最小二乘法回归的工序质量建模-东南大学学报.PDFVIP

第３５卷第５期 东南大学学报（自然科 学版 ） Ｖｏｌ３５ Ｎｏ５ 　 ２００５年９月 ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＳＯＵＴＨＥＡＳＴＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ） 　 Ｓｅｐｔ．２００５ 　　　　　　 基于偏最小二乘法回归的工序质量建模 张赤斌　 史金飞　 易　红 （东南大学机械工程系，南京２１００９６） 摘要：针对制造工序质量控制问题，应用多元统计分析中的偏最小二乘回归法建立了质量模型． 利用该模型可以定量分析加工工序与最终成品率之间的关系，进而通过将大量的工序影响因子 约简得到主要影响因子子集．根据在线生产的相关质量数据，采用非线性迭代偏最小二乘法获得 影响因子的权重．得到偏最小二乘因子权重可以在线预测成品质量变化，避免离线测试．在半导 体制造实例研究中，以工序质量水平为自变量，成品质量水平为因变量，建立了质量水平传递模 型，应用该方法可实现多工序质量异常的在线诊断和预测，为质量控制提供了定量依据． 关键词：偏最小二乘回归；质量模型；质量控制 中图分类号：ＴＨ１６６　　文献标识码：Ａ　　文章编号：１００１－０５０５（２００５）０５０７０２０４ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅｐｒｏｃｅｓｓｑｕａｌｉｔｙｍｏｄｅｌｉｎｇ ｂａｓｅｄｏｎｐａｒｔｉａｌｌｅａｓｔｓｑｕａｒｅｒｅｇｒｅｓｓｉｏｎ ＺｈａｎｇＣｈｉｂｉｎ　 ＳｈｉＪｉｎｆｅｉ　ＹｉＨｏｎｇ （ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＳｏｕｔｈｅａｓｔＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１００９６，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｐａｒｔｉａｌｌｅａｓｔｓｑｕａｒｅ（ＰＬＳ）ｒｅｇｒｅｓｓｉｏｎ，ａｍｕｌｔｉｖａｒｉａｔｅｓｔａｔｉｓｔｉｃａｌａｐｐｒｏａｃｈ，ｉｓａｐｐｌｉｅｄｔｏｔｈｅ ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅｐｒｏｃｅｓｓｑｕａｌｉｔｙｃｏｎｔｒｏｌ，ｓｏｔｈａｔｑｕａｌｉｔｙｍｏｄｅｌｉｎｇｃａｎｂｅｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｄ．Ｔｈｅｑｕａｌｉｔｙｍｏｄｅｌ ｉｎｇｃａｎｂｅｕｓｅｄｔｏａｎａｌｙｚｅｔｈｅｒｅｌａｔｉｏｎｓｈｉｐｂｅｔｗｅｅｎｆｉｎｉｓｈｅｄｐｒｏｄｕｃｔｒａｔｉｏａｎｄｉｎｄｉｖｉｄｕａｌｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅ ｐｒｏｃｅｓｓ，ａｎｄｒｅｄｕｃｅｔｈｅｌａｒｇｅｓｅｔｏｆｐｒｏｃｅｓｓｑｕａｌｉｔｙｖａｒｉａｂｌｅｓｔｏａｍｕｃｈｓｍａｌｌｅｒｓｅｔｏｆＰＬＳｃｏｍｐｏ ｎｅｎｔｓ．ＴｈｅＰＬＳｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓｃｏｒｅｓｃａｎｂｅｆｒｅｑｕｅｎｔｌｙｃｏｍｐｕｔｅｄｂｙｔｈｅｎｏｎｌｉｎｅａｒｉｔｅｒａｔｉｖｅｐａｒｔｉａｌｌｅａｓｔ ｓｑｕａｒｅｍｅｔｈｏｄｆｒｏｍｔｈｅｏｎｌｉｎｅｐｒｏｃｅｓｓｄａｔａ．ＷｉｔｈＰＬＳｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓｃｏｒｅｓｔｈｅｑｕａｌｉｔｙｖａｒｉａｂｌｅｓｃａｎ ｂｅｐｒｅｄｉｃｔｅｄｏｎｌｉｎｅｂｅｆｏｒｅｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇｏｆｆｌｉｎｅｔｅｓｔｓ．Ｉｎｔｅｒｍｓｏｆｔｈｅｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇｒｅ ｓｅａｒｃｈ，ｑｕａｌｉｔｙｌｅｖｅｌｔｒａｎｓｆｅｒｍｏｄｅｌｗａｓｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｄｏｎｔｈｅｂａｓｉｓｏｆｔａｋｉｎｇｐｒｏｃｅｓｓｑｕａｌｉｔｙｌｅｖｅｌｓａｓｉｎ ｄｅｐｅｎｄｅｎｔｖａｒｉａｂｌｅｓａｎｄｆｉｎｉｓｈｅｄｑｕａｌｉｔｙｌｅｖｅｌｓａｓｄｅｐｅｎｄｅｎｔｖａｒｉａｂｌｅｓ．Ｔｈｅａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｏｆｔｈｉｓａｐ ｐｒｏａｃｈｃａｎｄｅｔｅｃｔａｎｄｆｏｒｅｃａｓｔｔｈｅｍｕｌｔｉｐｒｏｃｅｓｓａｂｎｏｒｍｉｔｙａｎｄｐｒｏｖｉｄｅａｑｕａｎｔｉｔａｔｉｖｅａｎａｌｙｓｉｓｆｏｕｎ ｄａｔｉｏｎｆｏｒｑｕａｌｉｔｙｃｏｎｔｒｏｌ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｐａｒｔｉａｌｌｅａｓｔｓｑｕａｒｅｒｅｇｒｅｓｓｉｏｎ；ｑｕａｌｉｔｙｍｏｄｅｌ；ｑｕａｌｉｔｙｃｏｎｔｒｏｌ 　　多工序质量控制过程中，质量模型的建立最为