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2017-06-06 发布于天津
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微影照像.PDF

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微影照像

1 第　　　章 1.1. 1.2.ULSI 1.3. 1.4. 1.5. 1.6. 1.7. 1.8. 1.9. VLSI 概論 1.1　緒　論 VLSI, very large scale integrated circuits 5 6 chip 10 10 1.1 master photomask 1.2 photomask resist wafer development ULSI X UL SI u ltr a large scale integrated circuits 6 10 圖1.1　幾種ULSI的微影照像製程 Chang and Sze, ULSI Technology VLSIULSI 第1章　微影照像 Cr 圖1.2　光複製製程 Chang and Sze, ULSI Technology contact proximity proj ection scan 1 1 mask reticle 1. dehy dr at ion b a k e p r i m i n g h e x a m e t h y l d i si l az an e H M D S ( CH ) Si N H M e Si N H CH 3 6 2 6 2 3 C H