第9章非光学光刻技术.PDF

第9 章 非光学光刻技术 第第 99 章章 非非光光学学光光刻刻技技术术 第 章 非光学光刻技术 9 第第 章章 非非光光学学光光刻刻技技术术 99 通过使用大数值孔径的扫描步进光刻机和深紫外光源，再 结合相移掩模、光学邻近效应修正和双层胶等技术，光学光刻 0.1 m 的分辨率已进入亚波长，获得了  的分辨率。若能开发出 00..11 mm 157 n