聚焦电子束系统仪器简介.PDFVIP

聚焦電子束系統儀器簡介 設備編號 : L18 設備名稱 :聚焦電子束系統 設備擺放位置 :class 10黃光室 廠牌型號 :FEI Helios 1200+ 功能簡介如下: 本設備其主要功能有三 一.利用優異的電子束解析特性，進行電子束輔助沉積鉑或碳，描繪圖形製造硬 質遮罩，供後續抵擋蝕刻之用，可為原型製造奈米結構的曝光機。 二.其腔體搭配離子束，可於樣品上直接切割截面後，再以電子束進行截面觀 測，為故障分析的良好工具。 三.高電壓 離子束可雙面切割截面製成TEM樣品，並搭配低電壓離子束清理樣品 技術，可製備小於 100 奈米且低非晶化傷害之優良TEM樣品。 主要規格如下: 電子束規格 解析能力 1nm @ 15kV SE 1.4nm @ 1kV SE 加速電壓 (SEM) 1~30kV 電子發射源 Thermal Field emission 觀測倍率範圍