第四章结果与讨论-第一科大.PDFVIP

摘 要 (PZT) 10 m 在現有的眾多鋯鈦酸鉛 厚膜製程中，厚度大於 μ 以上，可以刮刀成形 1 m (PVD) 或塊材燒結等方法製備，而厚度小於 μ 以內，可以物理氣相沈積 等方法製 1~10 m 備，但厚度在 μ 的範圍內，是傳統方法較不易達成的範圍。因此，本實驗便以 此為目標嘗試利用有機金屬鹽裂解法(MOD)及電泳法(EPD) ，兩種方法來達成製造 PZT 厚膜的目的。 在有機金屬鹽裂解法的研究中，嘗試添加與不添加 PZT 微粉，並藉由改變不同微 粉濃度觀察厚度及電性上的變化。經實驗結果顯示，在不添加 PZT 微粉的實驗中，以 (precursor) 0.3M 0.3 m 前驅物 濃度為 時最佳，