第二章扫描电子显微镜-中国显微图像网.PDFVIP

第二章扫描电子显微镜 2 扫描电子显微镜—— 吉林大学 电子科学与工程学院 集成光电子 实验室 2.1 扫描电子显微镜的特点 扫描电子显微镜的成像原理：用聚焦电子束在样品表面 扫描时激发产生的某些物理信号来调制成像，不用透镜 放大成像，类似电视或摄像的方式成像。 扫描电子显微镜的优势及特点： (1)高的分辨率，精确聚焦的电子束作为探针，超高真空技术的发展，场发 射电子枪的应用，分辨率已达到1nm左右 (2)有较高的放大倍数，20-20万倍连续可调 (3)有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不 平表面的细微结构。 (4)配有X射线能谱仪装置，可以同时进行显微组织形貌观察和微区成分分 析。 (5)试样制备简单 光学显微镜下图象景深很小，只能看清硅柱在某一高度附近的形貌，成 像质量差。 电子扫描显微镜下图象景深很大，多孔硅不同高度下都能看到清晰的 像，分辨率高，能得到完整的多孔硅形貌像。 2.2.1 弹性散射和非弹性散射 聚焦电子束入射到固体样品上时，电子运动方向发生改变，产生散射，按照 动能是否变化，可分