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采用环形岛棱结构的电容式压力传感器(英文).PDFVIP

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  • 2017-06-06 发布于天津
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采用环形岛棱结构的电容式压力传感器(英文).PDF

    采用环形岛棱结构的电容式压力传感器(英文)

    17 6 Vol. 17 No. 6 2009 6 Optics and Precision Engineering Jun. 2009 1004-924X( 2009) 06- 1385-06 邹黎明, 郭 航 ( 厦门大学 萨本栋微机电研究中心, 福建厦门361005) : MEMS , LPCVD , PECV D , , , , , , , 48. 38% , 1. 6% : 微机电系统; 电容式压力传感器; 线性度; 有限元法 : T P212. 12 : A

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