一 精密工作台概述.pptVIP

一、精密工作台概述 1、工作台的定义 2、工作台的分类 3、精密工作台的组成和分类 4、精密工作台的用途 二、精密工作台技术的发展概况 1．材料 2．测量技术 3. 驱动技术 4. 直线导向技术 5．控制技术 三、精密工作台的结构型式 1、 平面单层式结构 2、双层结构 3、大行程纳米级精密工作台的实现 4、回转工作台的实现 四、精密工作台的设计 1、精密回转工作台 * ①加工或测量时承载被测零部件的平台。 ②能够实现一个或多个方向的运动。 ③在各个方向上的运动是独立的 按工作台所实现运动轨迹在空间的位置来分，有一维工作台，二维工作台， 三维工作台，甚至到六自由度 ①．光刻机 ②. 精密测量 ③. 生物芯片技术 ④．数控加工 精密工作台是集精密位置检测技术、驱动技术、直线导向技术、控制技术等多项技术为一体的有机综合体。在这些技术中，如果某一个方面得到改进或提高，将使精密工作台整体性能得到提高。 微纳米加工技术的发展，离不开精密工作台技术的发展和进步。 主要表现在精度、速度和行程等方面。 在材料、测量技术、驱动技术、控制技术等方面有了长足的进步，使工作台朝高精度、高速度、大行程的方向发展。 测量手段主要有光栅测量和激光干涉仪测量。 目前