表征技术-9-化学成分XPS-2014研讨.pdf

材料表征分析技术 Material characterization techniques 屈树新 西南交通大学材料科学与工程学院 元素分析 测试样品 • 化学分析： 为液体 – 化学滴定、电化学…… – 紫外－可见分光光度计（UV-S ）、原子吸收 （AAS ）、等离子体发射光谱（ICP ） • ESCA ：Electron Spectroscopy for Chemical Analysis 测试样品为 化学分析用电子能谱 固体 – EPMA: Electron Probe Microanalysis( 电子探针显微分析) – XPS: X光电子能谱 – AES ：俄歇电子能谱 – SIMS: 二次级离子质谱分析 – …… 物质的结构分析 • 测定物质结构的本质 某种波，如微波、红外光、X射线； 或某种粒子,如光子、电子、中子等 试样 改变试样中原子 入射波（粒子）的 或分子的核或 散射、衍射或吸收 电子的某种能态 得到物质结构 的信息 试样中原子解离 产生与入射波长 或电子电离 不同的波或粒子 电子束与固体的相互作用 • 入射电子激发的物理信号 背散射电子（BSE） 二次电子（SEM） 吸收电子 透射电子（TEM） 特征x射线（EDS ，WDS） 俄歇电子 （AES） 阴极荧光（阴极荧光谱） 非弹性散射 （EELS） 光电子…… XPS ：概述 • XPS ： – X-ray Photoelectron 硫代硫酸钠Na S O Spectrum，X射线光电子能 2 2 3 谱法 • 历史： – 1954世界上第一台XPS ：瑞 典K.Siegbahn教授； 硫酸钠Na SO 2 4 – 20世纪60年代发现化学价态 对结合能的影响,引起重视； – 70年代：高真空技术与XPS XPS ：测量各元素+化合价态 相结合 表面（几个原子层/数纳米） – 1981年K.Siegbahn教授获诺 贝尔物理学奖