HP5528A激光干涉仪在小角度细分精度测试中的应用.pdfVIP

维普资讯 瞒警， 舂 j 现代计量测试 HP5528A激光干涉仪 在小角度细分精度测试中的应用 1ll 燮 H7 ， (昆明机床股份有限公司质量保证部) 队摘要：本文介绍用HP5528A激光干涉仪的角度测量组件与多齿分度台相结合对圆感应同步器或圆光栅等 澜l角系统的小角度细分精度进行测试的原理和实际应用．以多齿分度 台为标准对HP5528A测角系统在小角度测 量范围内的系统误差进行检定 ．剥用该仪器的预置功能对系统误差作补偿 ．可使l度范匿内的细分剽角精度提高 §0．1角秒左右 ． 目前，圆光栅和圆感应 同步器测角系统在小角度范围 (例如I。～5。)内的细分精度测量 尚存 在一些问题，主要是难 以找到一种使用方便，精度和分辨率比较高，能在一定的小角度范围内作 连续细分测量的仪器。 例如 ，我公司传感仪器厂制造 的圆感应 同步器的零位误差 (长 、中、短周期误差)在 1秒 以 内 实际的长、中周期误差一般小于短周期误差，因而对短周期误差 (细分精度)的 抽 查很 重 要。 目前，对长 ．中周期误差采用带精密轴系的转台和多齿分度 台、光电自准直仪组成的测量装置 旬 可 以方便地测量出来。然后在长、中周期误差 曲线的最大峰、谷区域的lo范围内按2．5分或其 它 、 5 《 蛐 的 间隔抽查短周期误差 。 年 现有的抽查细分精度的方法有 以下几种；一是使用国产的激光小角度测1量仪测量，该仪器测 第 角范围可达 ±5。以上，精度 比较高 但该仪器装调麻烦，使用不便，还要配备更换激光管，因而 很少使用。二是使用英国R．T．H(阮克 ·泰勒 ·霍布森)公司制造的最小读数0．1秒的TA53型 光 节 电自准直仪测量，该仪器测微器全部IO分范围的精度为2秒。使用前先要在小角度检定仪 上 对1O 分范 围的示值误差按需要的间隔检定之后供修正使用。使用时测1量完10分范 围后还要接头数次才 能检完1。的角度范围。这种方法不能满足精度要求，操作要求严格，不方便，效率低。三是使用去 年引进的英国R．T．H公司制造的DA400型双轴光 电数显 自准直仪测量，该仪器测角范围为80” 秒 (士400秒)，全范围测角精度为 ±4秒，数显分辨率为0．1秒 。使用之前要先梭定测量范围的示 值误差供修正使用。该仪器测量范围增大，采用数显使用方便，但精度仍不够高，仍然需要接头 使 用。 ： 最近 ，作者用HP5528A双频激光干涉仪的角度测量光学镜附件安装在1440齿多齿分度 台上 进行 了小角度细分测量比对试验。测量安装情况见图I。 HP552gA激光干涉仪测量角度 的原理见 图2。由激光头发 出的激光束进入角度干涉镜后经过 透射和折射后在角度干涉镜和角度反射镜之 间形成两条平行光路，一路频率为f，，另一路频率为 fz，由于角度反射镱的两个角锥棱镜是精确定位于反射镜体 内，因而两平行光束之间的距离(D) 一 34一