ZETA简介3D显微镜(solar).pdfVIP

ZETA3D显微镜简介 地址 ：上海松江区泗砖南路 255弄名企公馆135号 Add ：MingQi Mansion, N0. 薛惟慨 135, Lane 255, South Sizhuan Rd, Songjiang District, Shanghai Mob : 180 1721 0520 Tel ：86-21682 Fax ：86-21 Emai ： Wacke_xue@ 网址 ： 设备简介 美国泽塔仪器公司(ZETA INSTRUMENTS，INC。)是一家业内领先的微细 表面形貌测量仪器制造商。Zeta显微镜系统采用泽塔的专利Z-点阵™技术。， 它可以对高纵横比样品进行非接触、无损伤、快速三维成像，并且实现对台阶 高度、粗糙度、尺寸、角度和体积的测量。由于它的非破坏性测量性能，用户 能够快速高效地对高纵横比的表面特征进行测量和分析，从而加快对流体微通 道制造工艺的开发和研究。也使得对高粗糙度、极低反射率的复杂表面的成像 变得更加容易，这种特性在太阳能电池的研究和生产上发挥了积极的作用。 设备简介 运用Z-点阵技术，Zeta光学系统能够对微细表面特征进行快速三维测 量。在不到一分钟的时间，Zeta 3D显微镜以精度高达2纳米的步距垂直扫 描样品表面，在对样品进行Z轴精确量测的同时，提取X轴和Y轴的信息。 大多数仪器在测量这些表面时会遇到困难，有的还需要复杂的校准和样品 准备。与其它同类产品相比，Zeta 3D显微镜是一种更易于使用的光学测 量工具，需要较少的培训和系统维护，因此它为用户提供了更快、更好的 解决方案。 设备简介 Zeta 3D显微镜，具有以下的功能： 1）能够检测制绒绒面的2D/3D 图像，统计绒面中金字塔的成核密 度； 2 ）能够量测栅线高度、宽度数值，能知道浆料的体积等数值； 3 ）能够同时测量多达10个截面的结果，取得平均值； 4 ）能够量测double printing的结果； 5 ）能够量测激光打孔的结果，和laser开槽的结果； 6) Z轴精度2nm 。 我们有多款型号：Zeta20、Zeta 200、Zeta300和Zeta380等。Zeta 20 是 手动载物台。Zeta 200 是自动载物台，能自动帮助客户测量样片任一位置 的数据，同时将所有位置的测量数据整合到一起。 单晶金字塔测试 金字塔3D图 多晶绒面测试 多晶绒面3D图 同时测量10个截面的结果 3D图形—真色彩 栅线宽度测量，同时软件会自动画出栅线边缘，并显示栅线的表面积 以及体积 各式的数据显示 double printing double printing-3D Thin Film太阳能样品上激光划线的测量 Thin Film太阳能样品上激光划线的测量-3D 工作原理 根据用户通过ZETA操作软件所指定的样品纵向扫描范围和步数。ZETA系统 对该范围一步一步地进行扫描。在扫每一步时，ZETA系统记录Z位置，同时根据 CCD探测器提供的2维图像数据，计算与XY位置相对应的每个像素的对比度，并 把结果保存起来。对比度来源于ZETA光学模块内部产生的反差信号，与样品表面 的图像反差无关。这一独特的设计使得ZETA系统可以对任何样品进行三维成像， 不论该样品上是否有图案反差。 在扫完所有Z方向的步数后，ZETA软件对每个XY像素上找出Z方向反差信号最 大的Z