ZnO薄膜体声波谐振器性能分析和研制_汤亮.pdfVIP

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2017-06-07 发布于浙江
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ZnO薄膜体声波谐振器性能分析和研制_汤亮

30 4 　　　　 Vol.30 No.4 20088 PIEZOELE T E T RI S A OUSTOOPTI S Aug.2008 　　:1004-2474(2008)04-0387-03 ZnO 汤　亮, 郝震宏, 乔东海, 汪承灏 ( , , 100080) 　　　:ZnO , Q 。 ZnO , 。, , Q , Q 。 :;;;; :TN713　　　:A Development and Analysis of a ZnO Film Bulk Acoustic Resonator TANG Liang, HAO Z en-ong, QIAO Dong-ai, WANG C eng-ao (M EMS Lab.of the Institute of Acoustics, hinese Academy of Sciences, Beijing 100080, hina) 　　Abstract:Resonant properties of a ZnO film bulk acoustic resonator (FBAR)was analyzied based on RF net- w ork method.The attenuation of the acoustic media was also taken into account for Q evaluation.Some FBAR sam- ples w ere developed by using micro-machining silicon processes.They were also tested and measured.It w as found that the measured resonant frequencies w ere in agreement w ith the theoretical predictions, but the measured Q w as much lower.Further investigations revealed the factors w hich could affect Q of the devices. Key words:filter;duplexer;oscillator;RF M EMS;FBAR 　 [6] 　　(、 FBAR , ) BVD FBA R , ,Mason 。。 Mason (MEMS)(FBA R) FBAR 。 Q , MOS , , 500 MHz ～20 GHz FBA R FBAR , 。 [1] [7] 。FBAR , FBA R 。 --, ,ZnO FBA R ,, 。S.V.Krishnaswamy 1990 。 FBAR 、、 1　理论分析 [2] 。R.Ruby 2001 1FBA R , [3] FBA R , 2002 Mason 2 。 ,FBA R 。 Mason [4] Larson MBVD [5] 。, MBVD FBAR 。K.M.Lakin BVD 1　 FBAR 　　:2007-03-2