ZnO薄膜的气敏和光电性能的研究进展.pdfVIP

开 发 应 用 ZnO薄膜的气敏和光电性能的研究进展 周二根 （重庆师范大学，重庆 400047） 摘 要：ZnO是一种新型的宽带隙半导体材料，在气敏器件、光电器件及压电器件等方面具有广泛的应用前景，因而受 到物理学界的广泛关注。本文介绍ZnO薄膜的气敏、光电性能的研究进展。 关键词：ZnO；气敏；光电性能 DOI：10.3969/j.issn.1671-6396.2011.22.018 The Research Progress of the Gass Sensation and Photoelectron Performance of ZnO Thin Film ZHOU Er-gen (Chongqing Normal University,Chongqing 400047) Abstract:ZnO is a novel wide gap semiconductor material.It has widespread application in gas sensing devices,photoelectric devices and piezoelectric devices.The article introduced the research progress of gas sensation and photoelectron performance of ZnO thin film. Key words:ZnO;Gas sensation;Photoelectron performance ZnO是直接宽禁带半导体材料，室温下禁带宽带为 HS气体时，发生CuO+HS→CuS+H 2 2 2 3.37eV，激子束缚能高达60eV。ZnO的熔点高达2248K，有 阻率很低的良导体，它的出现使气敏传感器表面的异质p- 良好的化学稳定性和热稳定性，可以在低于500℃的温度下n结消失，取而代之是CuS和ZnO接触的肖特基势垒，从而应 生长，比ZnSe和GaN的生长温度低得多，来源丰富，价格 起了电阻的变化。 低，毒性小，发光波长短而成为制备短波长激光、发光半 [3] 锌锡的复合物 ZnSnO是一种良好的气敏材料，可以用 3 导体重要的候选材料，在气体传感器、太阳能电池、LED、 化学或物理的方法来制备，ZnSnO气敏性能较纯ZnO、Sn 3 2 紫外探测器等方面具有广泛的应用前景。 越，ZnSnO对酒精表现出良好的气敏性，其气体灵敏度可以 1 ZnO薄膜的气敏性 3 [4] 达到13.239。娄向东等人 以 气体传感器的核心部分是气敏材料，而ZnO薄膜对各种 –热解法制备了ZnSnO复合氧化物。对于HS灵