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半导体/FPD/工业检查显微镜 MX Series 为用户提供更高效率 为用户提供最高的效率 满足客户需求是奥林巴斯的第一要务。 正是牢记这一点，奥林巴斯所提供的显微镜解决方案让工业检查变得更轻松、更便捷、 更高效。同时，当将显微镜成功集成应用到生产线上，操作舒适性等人体工程学问题与 晶圆安全问题就显得尤为重要，我们注重解决此类问题。奥林巴斯始终为半导体晶圆、 平板显示器和电子设备等在内的多个行业，提供新构思、解决方案和技术支持。 MX61 MX61L 半导体晶圆检查显微镜（最大200mm)，这款显微镜的孔径光阑与物 这款显微镜用于检查大尺寸样品，例如300mm的半导体晶圆或17英寸 镜相互联锁，能够快速、精确地完成检查。设计符合人体工程学原理 的平板显示器。采用了离合器驱动的手动XY载物台，在反射光照明模 ，使用起来舒适、自如。符合SEMI S2/S8，拥有安全性与可靠性双