AlGa共掺杂ZnO透明导电薄膜的正交优化.pdfVIP

第36卷第7 期 太阳能学报 Vol. 36 , No. 7 2015 年7 月 ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA Jul., 2015 文章编号:0254-0096(2015)07-1550-06 Al/Ga共掺杂ZnO透明导电薄膜的正交优化 马洪芳l ， 2 ，马 芳 1 ，刘志宝气王小35、 1 ，孙华1 ，张长存1 (1.山东建筑大学材料科学与工程学院，济南 250101: 2 教育部省部共建可再生能源建筑利用技术重点实验室，济南 250101: 3. 山东省化工研究院，济南 250014) 摘 要:利用正交试验，对溶胶·凝胶法(sol-gel) 制备AVGa共掺杂ZnO 透明导电薄膜(GAZO) 的工艺进行优化，研 究溶胶浓度、掺杂配比、热处理温度、薄膜厚度等因素对薄膜光电性能的影响规律。分别以薄膜的透光率和电阻率 作为评价指标，确定制备GAZO薄膜的最佳工艺参数。采用X射线衍射仪(XRD) 、扫描电子显微镜(SEM) 、可见分