半导体电学特性四探针测试技术研究现状.pdf

第档卷第3期 真空 VACUUM V01．48,No．3 2011年5月 May．2011 半导体电学特性四探针测试技术的研究现状掌 李建昌，王永，王丹，李永宽，巴德纯 (东北大学，机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心，辽宁沈阳‘110004) 摘 要：四探针法是材料学及半导体行业电学表征较常用的方法，其原理简单，能消除接触电阻影响，具 有较高的测试精度。由厚块原理和薄层原理推导出计算公式，并经厚度、边缘效应和测试温度的修正即可 得到精确测量值。据测试结构不同，四探针法可分为直线形、方形、范德堡和改进四探针法，其中直线四 探针法最为常用，方形四探针多用于微区电阻测量。本文综述了四探针测试技术的基本理论，包括四探针 法的分类、原理和修正，并阐述r四探针测试技术在微观领域的发展。 关键词：四探针法；半导体表征；微观四点探针；电阻率 ： 中图分类号：TN307 文献标识码：A 文章编号：1002—0322(2011)03—0001—07 for ofthe semiconductor Progressfour-probetechnique conductivity LI De—chun Yong，WANGDan，LIYong—kuan，BA Jian-chang，WANG Mechanical (Schoolof EngineeringAutomation，NortheasternUniversity，Shenyang110004，China) for methodisoneofthemostcommonmethods theelectrical inmaterialscience Abstract：Four-probe studying properties andsemiconductorindustries its andminordemandon calculation tO owing highaccuracy samplepmparation．Theequations canbederived theinfinitetwo—dimensionalorthroe-dimensionalcan accuratemeasuroment byusing theories，whichgive resultsafter theeffectsof and methodCanbedividedintomodesof correcting thickness，edgetemperature．FoOr—probe methods．Thelinemodeis mostused derPauwand the straightline，square，Van manyimproved