8寸4管扩散炉说明书.pdf

M5111-4W/UM 型高温氧化/扩散系统 使 用 说 明 书 中国电子科技集团公司第四十八研究所 2006年4月 中 国电子科技集团公司第四十八研究所 目 录 1．概述 ························ （2） 1．1 产品特点 ···················· （2） 1．2 主要用途及适用范围 ··············· （2） 1．3 品种、规格 ··················· （2） 1．4 型号的组成及其代表意义 ············· （3） 1．5 使用环境要求 ·················· （3） 1．6 工作条件要求 ·················· （3） 2．结构特征与工作原理 ················· （4） 2．1 总体结构···················· （4） 2．2 各部件结构··················· （4） 2．3 系统控制原理·················· （7） 2．4 系统各主要单元功能结构及工作原理········ （7） 3．主要性能指标 ···················· （9） 4．尺寸、重量 ····················· （9） 5．安装、调试 ·····················（10） 5．1 安装条件····················（10） 5．2 安装程序、方法及注意事项············（10） 5．3 调试程序、方法及注意事项············（10） 5．4 SiC桨及石英炉门的装调·············（10） 5．5 调试恒温区的方法及验收判据···········（11） 5．6 试运行前的准备、试运行启动、试运行·······（12） 6．使用、操作 ·····················（12） 6．1 温控仪的使用··················（12） 6．2 恒温槽的操作使用················（13） 6．3 计算机的操作使用················（13） 6．4 操作程序及注意事项···············（14） 7．故障分析与排除 ···················（15） 8．安全 ························（16） 8．1 设备的安全使用 ·················（16） 8．2 化学品的安全使用 ················（16） 8．3 气体的安全使用 ·················（16） 9．保养与维修 ·····················（17） 1 中 国电子科技集团公司第四十八研究所 1．概述 1.1 产品特点 本设备加热部分选用进口炉丝以及耐高温保温材料，炉体使用寿命长，保温性 能好。送片系统采用丝杠、导轨副及 SiC 桨悬臂式推拉舟结构，可确保进出舟运行 平稳，同时能有效地防止因磨擦而产生的粉尘污染。温控部分选用带有自整定 PID 调节系统、0.1级精度以及具有多项保护功能的进口高档温控仪，因而控温精度高， 温度稳定性好，升、降温响应速度快，同时可与计算机通讯实现升降温速率自动控 制。气路部分的关键件均采用进口件，并具有完善的安全保护措施，可靠性好。整 机由计算机控制，各部分软、硬件联锁；操作部分采用先进的触摸屏技术，工艺参 数的设置及运行均可在触摸屏上直接进行；自动化程度高、操作简便、可靠性好。 1.2