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封离型全金属RF激励CO_2激光器的安全控制系统
20 4 Vol. 20, No.4
2000 8 A P PL I ED LA SER A ug ust 2000
2
RF CO
萧明强 王又良 吴恒莱
( , 200233)
CO
2
CO2
The Control System for Seal ed- of f and all - metal RF - ex cited CO2 Lasers
Xiao Mingqiang, Wang Youliang, Wu Henglai
(Shang hai Institute of L aser Technology , Shang hai 200233)
Abstract his paper has introduced a praticable safety control system for sealed- off RF -
2
excited all- metal CO lasers. he system provide against excess temperature, overvoltage of laser.
- , 2 , - , - ,
Key words RF excited CO laser all metal sealed off safety control
CO2 1. PWM
f
PWM V
PUC[ l] , 5kHz,
, , 095%f
V
, BNC ,
PWM PWM
, PWM 1 PWM2
, , PWM 1 PWM2
Vf RF , Vf
RF ,
f
V
CO2 , ,
PWM ,
,
RF
, 1 , 5 ,
2000 3 5
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