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Desmear 再生系統設計原理 Desmear 再生系統設計 Agenda: 1.背景 2.目的 3. 分析 3-1.Desmear目的 3-2.Process 3-3.電解再生反應機制 3-4.電解再生系統設計 4.未來發展方向 5.結論 1.背景/2.目的 3-1分析/ Desmear目的 3-1分析/ Desmear目的/Via Line Process 3-1分析/ Desmear目的Via Open 3-1分析/ Desmear目的/Surface roughness 3-1分析/ Desmear目的/Station Monitor 3-2分析/ Desmear Process 3-3分析/電解再生反應機制 3-3分析/電解再生反應機制/A.高錳酸鹽熱力學分析 3-3分析/電解再生反應機制/ B.高錳酸鹽動力學分析 3-3分析/電解再生反應機制/ C.電極反應動力學分析 3-3分析/電解再生反應機制/ C-1.動力極化過電壓 3-3分析/電解再生反應機制/ C-2.濃度極化過電壓 3-4分析/電解再生系統設計 3-4分析/電解再生系統設計/電流效率 3-4分析/電解再生系統設計/電流