第十讲+MEMS工艺技术.pdfVIP

MEMS 工艺技术 欧文 2013-秋季 内容 1. 什么是 MEMS? 2. CMOS MEMS 的差异 3. MEMS 工艺分类 4. MEMS技术的发展趋势 什么是MEMS？  MEMS= Micro Electro Mechanical System （美国）  用MEMS技术制作的器件或系统.  通过机械或机电方式工作的器件或系统.  信号中至少有一个量是机械量，如位移、温度、流量、速度、加速度 等。 MEMS的共有的特征  特征尺寸在微米量级或以下（NEMS）  具有机械结构(悬浮结构）  没有标准工艺.  来源于IC工艺.  平面工艺用于MEMS制造  可以利用现有的IC工艺设备  MEMS 有它独特的一些工艺技术 CMOS