半导体外延层晶格失配度计算.pdf

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2017-06-09 发布于湖北
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30 1 南昌大学学报(理科版) Vol. 30 No. 1 2006 2 JournalofNanchang University(NaturalScience) Feb. 2006 : 1006- 0464( 2006) 01- 0063- 05 * 何菊生, 张萌 , 肖祁陵 (南昌大学材料科学与工程学院, 江西南昌 330047) : , , X D, , , , : ;; ; : O4841; TN3042 : A (), G aN , , 16% , 13. 8% , 15% 1 2 ,, , , , , , , , , , GaN [ 1] [ 2] , || 5% , ||= 5% ~ 25% 16% , 14% , [3] [ 7] 15% , , , || 25% , 2 1 21 a , ( ) ( ) s a , , 1/ 4 e a - a [ 4] , 1 = s e 1 ae C 5/ 8C a - a [ 5] , 2 = s e 2 as , , 2|a - a |[ 6] ( 111) 3 = s e 3 a + a ( 0001) ( 0002) , s e 1, , 2, , ( 100) 3, , , 1 , , , , ,