近年来,电容式湿度计以高分子材料聚亚醯胺,倍受业界和学术.PDFVIP

摘要 近年來，電容式溼度計以高分子材料聚亞醯胺 ，倍受業界及學術 界所使用。電氣特性 方面，聚亞醯胺提供溼度計優異的靈敏度及線性 度；從製程整合的角度，聚亞醯胺固化後 經由黃光微影製程 ，可 定義 出不同的幾何形貌，抑或是透過點膠的方式，填 入結構夾層中，再進 行固化。因此 ，聚亞醯胺具有與CMOS-MEMS 平台進行整合的好處 ， 對於需要批量化製造之商品無非是一大優勢。間苯二酚 甲醛- 與聚亞 醯胺同為高分子材料，亦具備 與CMOS-MEMS 平台整合的條件；在 材料性質方面 ，間苯二酚甲醛- 的骨架上 具有親水性官能基─ 羥基 ， 透過超臨界乾燥製備成奈米級孔洞之氣凝膠後，更提升了材料與環境 接觸的面積，因 而對於環境溼度具有更佳之靈敏度表現 。 本研究採用 TSMC 0.18 m 1P6M CMOS 製程平台，結合後製程 金屬濕蝕刻、點膠技術及超臨界乾燥，使氣凝膠成形於垂直平板電容 夾層內，實現以間苯二酚 -甲醛氣凝膠為感測膜層的 CMOS-MEMS 電容式溼度感測器。 經一系列之製程與實驗量測結果，凸顯間苯