- 1、本文档共4页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
电化学电容-电压法表征等离子体掺杂超浅结.pdf
第 卷 第 期 半 导 体 学 报
27 11 VOl.27 NO. 11
年 月
2006 11 CHINESEJOURNAL OF SEMICONDUCTORS NOv. 2006
电化学电容 电压法表征等离子体掺杂超浅结-
!
1 1 T 2 3 3 1 1 1
武慧珍 茹国平 张永刚 金成国 水野文二 蒋玉龙 屈新萍 李炳宗
( 复旦大学微电子学系 上海
1 200433
( 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室 上海
2 200050
(
3 UltimateJunction Technolo ies Inc. 3-1-1 Ya umonakamachi Mori uchi Osaka 570-8501 Ja an
g g g P
摘要!采用电化学电容 电压( 法对等离子体掺杂制备的 超浅 + 结进行了电学表征 通过对超浅 + 结
- ECV Si P n . P n
+
样品 测试和二次离子质谱( 测试及比较 发现用 测试获得的 层杂质浓度分布及结深与
ECV SIMS ECV P SIMS
测试结果具有良好的一致性 但 测试下层轻掺杂 型衬底杂质浓度受上层高浓度掺杂影响很大 测试
ECV n .EC
文档评论(0)