软X光谱学光子筛衍射特性的实验表征.pdfVIP

第23卷第2期 强 激 光 与 粒 子 束 VoI．23，No．2 HIGH I。ASERANDPARTICLEBEAMS 2011年2月 POWER Feb．，2011 文章编号：1001—4322(2011)02—0387—05 软X光谱学光子筛衍射特性的实验表征’ 魏 来1’2， 曹磊峰2， 范 伟2， 臧华萍2， 高宇林2， 朱效力3， 谢长青3， 谷渝秋2， 张保汉2， 王晓方1 (t．中国科学技术大学近代物理系．中国科学院基础等离子体物理蕈点实验事，合肥230026； 2．中国工程物理研究院激光聚变研究中心．高温高密度等离子体物理国防科技重点实验室，四川绵阳621900； 3．中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室，北京100029) 摘要： 概述了谱学光子筛的设计原理，计算了其透射率，并对设计的软X光谱学光子筛的衍射模式在 光学波段进行了模拟计算和实验表征。结果表明，这种新型色散元件具有良好的、与设计预期一致的单级衍射 特性，3级及以上的高级衍射能被有效抑制。与传统的透射光栅和以前设计的单级衍射光栅相比，新设计的软 x光谱学光子筛更易于实现自支撑，可望在极紫外和软X光谱测量过程中得到广泛应用。 关键词：软X光；光子筛；衍射光栅；衍射特性 中图分类号：0436．1 文献标志码： A doi：10．3788／HPI，P0387 衍射光栅是光谱分析的重要元件f】。2]，基于透射衍射光栅的软X光透射光栅谱仪更是激光聚变实验中的 重要诊断设备，可以提供激光惯性约束实验(ICF)中重要的黑腔辐射软X光谱。然而，传统的黑白光栅具有多 级衍射的特征[3]，因此，长期以来，应用于ICF研究的光栅谱仪一直受到高级衍射干扰的影响Ns3，测谱精度受 到很大限制。2002年，我们提出了二值化正弦光栅的概念，提供了一种研制X光单级衍射光栅的基本技术思 表面沿l维呈随机分布，沿另外1维呈正弦分布。量子点正弦分布的一个周期对应于传统光栅阶跃变化的一 个周期。量子点尺寸根据实际需要决定。但是，在制造上，由于QDADG一些地方的支撑非常脆弱，要实现自 支撑非常难，必须要加上衬底。而一般的衬底(如聚酰亚胺)，对软X波段的吸收强烈，在黑腔辐射软X光谱诊 断中是很不利的。这一问题制约了QDADG在惯性约束聚变研究中的推广应用。为了实现X光单级衍射光 栅的自支撑，我们在2009年发明了软X光谱学光子筛：在不透明的基底挖出一系列准随机分布的圆孔，圆孔 的透过率和光栅基底的透过率呈二值跃迁变化，圆孔的透过率为1，基底的透过率为0。这种结构由于孔与孔 之间并不紧贴，所以可以妥善实现自支撑，消除了衬底对x光谱的影响。本文介绍了软X光谱学光子筛的基 本概念，严格计算了它的透射率，在光学波段通过计算机模拟和实验两种手段验证和表征这种新型元件的单级 衍射特性，并简要讨论了这种元件应用于X光波段的可行性。 l谱学光子筛简介 1．1正弦光栅简介 传统的光栅在空间上具有周期结构，它的振幅透射系数为复数，振幅透射系数的模表示振幅透过率，辐角 表示相位变化。对于黑白光栅，振幅透射系数的辐角为常数，空间无限大的黑白光栅的透过率为 t(z)：f1，删z≤舢+口(z)={ 、 (1)(1) 【0， 删+n35≤(咒+1)W 式中：口是构成光栅的每一条狭缝的宽度；训是光栅的周期宽度；咒=0，1，2，…。将式(1)作傅里叶展开，得 —sin—(7c—ma—／w)cos(27r懈／叫) (2) ￡(z)=∑ 7r7咒 -收稿日期：2010—03—30}修订日期：2010一lO一10 基金项目：国家自然科学基金项目