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200kV场发射透射电子显微镜 高速分析热场发射扫描电子显微镜 六硼化镧灯丝 钨灯丝 场发射灯丝 电子枪与灯丝 二、电子枪工作参数 束流密度 亮度 发散角 交叉斑直径 寿命 束流密度 单位时间单位面积内的通过的电荷量称为束流密度。 n——电子数目； e——电子电荷量； v——电子的运动速度； 亮度 电子枪发射的每单位立体角的电流密度称为亮度。 亮度的理论值为： 影响亮度的因素： 偏压 灯丝温度 结构 热发射电子枪 灯丝：高熔点，低逸出功 Wu 4.5eV LaB6 3.0eV 场发射电子枪 束斑大小 冷场发射 电子枪 钨灯丝枪 (W) 六硼化镧灯丝枪 (LaB6) 肖脱基热场 发射电子枪 2300℃ 1800 ℃ 1800 ℃ 室温 ≤2.0eV ≤1.5eV ≤0.8eV ≤0.2eV 5x105 A/cm2sr 5x106 A/cm2sr 5x108 A/cm2sr 2x109 A/cm2sr ≤100小时 500 – 1000 小时 6 – 8 月 ≥ 2 年 uA 50 uA 50 uA 100 nA 连续激活 每天一次 工作温度 能量发散度 亮度 灯丝寿命 总束流 枪尖激活 类别 钨灯丝 LaB6 场发射枪 逸出功（eV） 4.5 2.4 4.5 工作温度(K) 2700 1700 300 电流密度（A/m2） 5x104 106 1010 交叉斑直径（μm） 50 10 0.01 能量散度(eV) 3 1.5 0.3 发射电流稳定度(%/小时) 1 1 5 真空度（Pa） 10-2 10-4 10-8 寿命(小时) 100 500 1000 各种电子枪的性能对比(100kV) 电子枪结构 栅极和灯丝组件 高压瓷瓶 栅极和灯丝组件 高压瓷瓶 栅极帽的不同结构形式 三 、电子枪的计算仿真与设计 目标：加速电压200kV，要求发射束流为80μA，束斑直径78nm。 电子源的设计 采用专用软件进行理论计算和优化设计。用有限元方法进行模拟，最大网格和最小网格相差几十万倍（阴极网格是亚微米级，组件宏观尺寸是几十毫米），完成了大量的数据文件程序编写。 a) 场发射电子枪 进行电子光学计算和设计-光路设计 发射阴极网格设计 发射源网格设计 发射源程序粗网格输出 发射源程序细网格输出 a) 场发射电子枪 进行电子光学计算和设计—网格设计 电子束轨迹-程序输出 场发射枪电子光学光路-网格设计图 a) 场发射电子枪 进行电子光学计算和设计—场计算 a) 场发射电子枪 电子光学计算—发射尖端 ZrO/W(100) Schottky发射尖的腐蚀; ZrO/W(100)Schottky组装； 场发射电子源测试。 b）场发射电子源 材料特殊，加工精度、装配精度都非常高，部分精度到微米级 a) 场发射电子枪 设计核心组件—场发射枪组件 场发射枪组件装配、调节装置（在显微镜下安装、调节、粘接） a) 场发射电子枪 设计核心组件—枪组件装配、调节装置 枪组件要求耐高温、高压，极间连接件材料硬度极高，刚性强，表面光洁度要求也很高，加工难度大，通过各种实验，确定材料。 a) 场发射电子枪 设计核心组件—做实验，确定特殊材料 场发射枪零件的小孔、平面等精度要求很高，加工要求高。 a) 场发射电子枪设计制造 a) 场发射电子枪 设计200kV加速极 场枪工作在200kV下，一般要采用多级陶瓷和金属封接构成加速管。该组件要求耐高压200kV，内部真空达到10-9 Torr，外部7个大气压，所以需要特殊陶瓷。组件的同心度和平面度要求很高，加工、封接工艺都属于特殊工艺。目前我们已经完成了图纸设计，正在国内进行调研。现在已经和多