方法1.3粒子(束)与的相互作用资料.pptVIP

§3.1 电子束与材料的相互作用 §3.2 离子束与材料的相互作用 §3.1 电子束与材料的相互作用 1.弹性散射 2.非弹性散射 3. 散射截面 4．电子吸收 3.1.2 电子与固体作用产生的信号 3.1.3 电子激发产生的其它现象 §3.2 离子束与材料的相互作用 3.2.2 溅射与二次离子 本 章 结 束 * * 返回总目录 在材料现代分析方法中，电子束是一种常用的入射激发源之一。入射电子（又称为初始或一次电子）照射固体时与固体中粒子相互作用，它包括： 入射电子的散射 ? 入射电子对固体的激发 ? 受激发粒子在固体种的传播 电子散射源于库仑相互作用，它不同于光子在固体种的散射。 散射——入射电子照射固体时将与固体中的电子、原子核等作用而产生的现象。与辐射的散射一样，电子散射同样有弹性和非弹性散射之分。 3.1.1 散 射 设原子的质量为M ，质量数（质子数与中子数之和）为A，碰撞前原子处于静止状态。电子质量与原子质量的比值为me/M=1/1836A. 根据动量和能量守恒定理，入射电子与原子（核）碰撞后的最大能量损失可表示为 （1） 式中：E0—— 入射的电子能量； θ—— 半散射角，散射角（2θ）即散射电子运动方向与入射方向之间的夹角。 以100keV的电子为例，对于小角度散射（θ 5°），电子的能量损失在10-3～10-1eV的范围；对于背散射电子（θ≈π/2）,能量损失可以达到几个eV。可见电子的能量损失入射能量相比，完全可以忽略。因此，原子核对电子的散射一般情况下均可视为弹性散射。 非弹性散射——当入射电子与原子中电子的作用称为主要过程时，由于作用粒子的质量相同，散射后入射电子的能量发生显著变化的过程。 在非弹性散射过程中，入射电子把部分能量转移给原子，引起原子内部结构的变化，产生各种激发现象。因为这些激发现象都是入射电子作用的结果，所以称为电子激发。电子激发是非电磁辐射激发的一种形式。 入射电子被原子核散射时，散射角2θ的大小与瞄准距离（电子入射方向与原子核的距离）rn 、原子核电荷Ze以及入射电子的加速电压V有关。如图所示，其关系为 或 （2） 由上式可知，当入射电子作用在以原子核为中心、rn 为半径的圆内时将被散射到大于2θ的角度以外，故可用πrn2(以原子核为中心，rn 为半径的圆的面即)来衡量一个孤立原子核把入射电子散射到大于2θ角度以外的能力。由于电子与原子核的作用表现为弹性散射，故将πrn2叫做弹性散射截面，用σn表示。 当入射电子与核外电子作用时，散射角为： 或 （3） 同理，可用πre2(re是入射电子对核外电子的瞄准距离)来衡量一个孤立何外电子把入射电子散射到2θ角以外的能力，并称πre2为核外电子的非弹性散射截面，用σe表示。 对一个原子序数为Z的孤立原子，弹性散射截面为σn，非弹性散射截面则为所有核外电子非弹性散射截面之和Zσe。由式（2）与式（3）可得σn/Zσe=Z.因此，原子序数越高，产生弹性散射的比例就越大。 由于库仑相互作用，入射电子在固体中的散射比X射线强得多。同样固体对电子的“吸收”比对X射线的吸收快得多。 随着激发次数的增多，入射电子的动能逐渐减小，最终被固体吸收（束缚）。 电子吸收主要指由于电子能量衰减而引起的强度（电子数）衰减，显然不同于X射线的“真吸收”。 电子被吸收时所达到的深度称为最大传入深度（R）. 在不同固体中，电子激发过程有差别，多数情况下激发二次电子是入射电子能量损失的主要过程。 单位入射深度电子能量变化（dE/dz）与入射深度（z）的关系如图所示。曲线与横坐标的交点即为入射电子的最大深度。 弹性散射和非弹性散射同时发生，前者使电子偏离原来方向引起电子在固体中扩散；后者使电子能量逐渐减小，直至被固体吸收，从而限制了电子在固体中的扩散范围，这个范围称为电子在固体中的作