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第6章 压电式压磁式传感器 6.1 压电效应及压电材料 6.2 压电式传感器测量电路 6.3 压电式传感器的应用 6.4 压磁式传感器 学习本课程所需的预备知识。 物理、电工基础、电子测量技术、电子线路。 教学提要（重难点）、课程内容、教学要求、实验指导。 压电传感器是利用某些晶体的压电效应工作的，超声波是利用逆压电效应工作的，所以压电效应是本章重点内容。同时，压电传感器使用电压、电荷放大器，故也是重点内容。 教学从晶体的压电效应入手，结合身边的应用实例讲解。并且通过实验来加深理论知识，同时也掌握了压电传感器的应用。 超声波是压电效应的反向使用，要掌握超声波特性，这对于超声波传感器的使用是非常重要的。 压电式传感器是一种典型的自发电式传感器。它以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质表面产生电荷，从而实现非电量电测的目的。压电传感元件是力敏感元件，它可以测量最终能变换为力的那些非电物理量，例如动态力、动态压力、振动加速度等，但不能用于静态参数的测量。 压电式传感器具有体积小、质量轻、频响高、信噪比大等特点。由于它没有运动部件，因此结构坚固、可靠性、稳定性高。 近年来，随着电子技术的飞速发展，已可以将测量转换电路与压电探头安装在同一壳体中，使用起来十分方便。 6.1 压电式传感器的工作原理 取一块干燥的冰糖，在完全黑暗的环境中，用榔头敲击之，可以看到冰糖在破碎的一瞬间，发出暗淡的蓝色闪光，这是强电场放电所产生的闪光。产生闪光的机理是晶体的压电效应。 1. 压电效应 压电传感器的工作原理是以压电效应为基础的。某些电介质(物质)，在特定方向上受到外力作用时，不仅几何尺寸发生变化，而且内部会产生极化现象，同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷， 当外力去掉后，又重新恢复到不带电状态。这种现象称压电效应。当作用力方向改变时，电荷的极性也随之改变。有时人们把这种机械能转换为电能的现象， 称为“正压电效应”。相反，当在电介质极化方向施加电场(交变电压)，这些电介质也会产生几何变形，当去掉外加电场时，电介质的变形随之消失，这种现象称为“逆压电效应”（电致伸缩效应）。具有压电效应的材料称为压电材料，压电材料能实现机—电能量的相互转换。 天然结构的石英晶体呈六角形晶柱，用金刚石刀具切割出一片正方形薄片。当晶体薄片受到压力时，晶格产生变形，表面产生正电荷，电荷Q与所施加的力F成正比 ，这种现象称为压电效应 。还有一些人造的材料也具有压电效应。 2. 压电材料的分类及特性 压电传感器中的压电元件材料一般有三类： 第 一类是压电晶体（如上述的石英晶体） 主要特点是温度稳定性和老化性能好， 常用在标准、高精度传感器中。石英 晶体在使用时需要进行切片。沿不同 的方位进行切片， 可得到不同的几 何切型，而不同 的几何切型的晶 片压电性能及参 数都是不一样的。 石英晶体切片及封装 第二类是 经过极化处理的 压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料，它比石英晶体的压电灵敏度高得多，而制造成本却较低，因此目前国内外生产的压电元件绝大多数都采用压电陶瓷 。常用的压电陶瓷材料有锆钛酸铅系列压电陶瓷（PZT）及非铅系压电陶瓷 （如钛酸钡BaTiO3等）。主要特点是容易制作，性能可调，便于批量生产，大多用于普通测量用的压电传感器中。 压电陶瓷只有在一定温度下，于压电陶瓷某一方向施加一定的电场以后(即进行了极化处理后)，压电陶瓷才具备压电特性，而且压电特性在极化方向(即极化时施加的外电场方向)上最显著，所以使用时要注意其方向性。用压电陶瓷制作的压电传感器灵敏度较高，其压电性能也与受力方向及变形方向有关，故根据实际需要可制成各种形状的压电元件。常见的有片状和管状压电元件。 压电陶瓷外形 无铅压电陶瓷及其换能器外形 （上海硅酸盐研究所研制） 第三类是高分子压电材料 高分子压电材料是近年来发展很快的一种新型材料。典型的高分子压电材料有聚偏二氟乙烯PVF2或PVDF,其压电常数很高。有的材料可比压电陶瓷还要高十几倍。其输出脉冲电压高到可以直接驱动CMOS集成门电路。 高分子压电材料是一种柔软的压电材料。可根据需要制成薄膜或电缆套管等形状。经极化处理后就显现出电压特性。它不易破碎，具有防水性，可以大量连续拉制，制成较大面积或较长的尺度，因此价格便宜；其测量动态范围可达80dB，频率响应范围可从0.1 Hz直至109Hz。这些优点都是其他压电材料所不具备的。因此在一些不要求测量精度的场合，例如水声测量，防盗、振动测量等领域中获得应用。它的声阻抗约为0．02MPa／s，与空气的声阻抗有较好的匹配，因而是很有希望的电声材料。例如在它的两侧面施加高电压音频信号时，可