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用于多传感器坐标测量机探测误差评价的薄环规标准器.pdf
第24卷第3期 光学精密工程 Vol_24NO．3
2016年3月 andPrecision
Optics Engineering Mar．2016
文章编号：10(M-924X(2016)03-0521-05
用于多传感器坐标测量机探测误差评价
的薄环规标准器
位恒政’，王为农，裴丽梅，郑庆国
(中国计量科学研究院，北京100013)
摘要：设计了一种薄环规标准器，用于配有光学影像测头和接触式测头的多传感器坐标测量机的探测误差评价。该标准
器兼有环规和二维平面标准圆的特征，孑L的有效部分厚度为0．1miil，圆度为0．5岬，可以满足大多数坐标测量机的校
准需求，避免了普通标准器如标准球、环规对影像测头测量成像的影响。该标准器同时适用于接触式测头测量，锥孔
结构保证了标准器的稳定性，用于接触式测量时，不会引起变形。利用设计的薄环规标准器实现了配有光学影像测头
和接触式测头组合测量系统的探测误差评价，结果表明该标准器有效解决了上述组合系统探测误差的校准问题。参照
IS010360．9标准，给出了多传感器组合测量系统的探测误差、尺寸测量误差以及位置误差，并利用坐标变换方法修正
了位置误差，优化了系统参数。
关键词：多传感器坐标测量机；影像传感器；接触式传感器；薄环规标准器；测量不确定度
中图分类号：TH701；TH72文献标识码：A doi：10．3788／OPE0521
Thin artifactfor errorevaluationofmulti-sensor
ringgauge probing
coordinate machine
measuring
WEI Li—mei，ZHENG
Heng-zheng’，WANGWei-nong，PEI Qing·guo
Institute
(NationalofMetrology，Beijing100013，China)
+Correspondingauthor,E-mail：weihz@nim．ac．cn
Coordinate
Abstract：Athin artifactis toevaluatethe errorsofamulti-sensor
ringgauge designed probing
witha
withan andatouch artifactisdefined
MeasuringMachine(CMM)equippedimagingprobe probe．This
holeinametal hasthefeaturesofboth2Dcircleand3D effectiveof
sharpedged plate．It ringgauge，the height
theholeis 0．1ln／nandtheroundnessis issuitabletomeasurethetouch aswellasimaging
only 0．5¨m．It probe
the effectofthehol
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