仪器分析中的真空技术和原理.ppt

从图3可见，钛升华泵的结构大致可分为三部分：吸气面、热丝(或升华器)和控制器。钛升华泵的工作过程是由控制器通电给升华器(或热丝)，使钛加热到足够高的温度(1100oC)直接升华。升华出来的钛沉积在用水或液氮冷却的表面上，形成新鲜的钛膜层。钛在升化和沉积的过程中，与活性气体结合成稳定的化合物(固相的TiO或TiN)，结果将空间的气体分子抽除了。 钛升华泵抽除的气体分子吸附在钛膜上，吸附机理是比较复杂的．通常认为是物理吸附和化学吸附综合作用的结果，以化学吸附为主。 热平衡时，灯丝温度T为一定值 　　　　热平衡时，灯丝温度T为一定值 涡轮分子泵 Turbo Molecular Pumps 涡轮分子泵 工作原理： 靠机械运动对气体分子施加作用，并使气体分子向特定方向运动的原理来工作的。涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状，以20000-30000转/分的高速旋转，将动量传给气体分子，多级叶片的连续压缩保证了分子泵的高效快速的工作。 工作参数： 实际抽速： 1000 L/s (决定于泵体口径和转速） 极限真空：10-8 Pa 特点与使用 与旋片机械泵串联使用，需要机械泵抽预真空(1Pa)；无油污染；价格昂贵。 离子泵 Ion Pumps 工作原理： 依靠高压阴极发射出的高速电子与残余气体气体分子相互碰撞后引起气体电离放电，而电离后的气体分子在高速撞击阴极时又会溅射出大量的Ti原子。由于Ti原子的活性很高，因而它将以吸附或化学反应的形式捕获大量的气体分子并在泵体内沉积下来，实现超高真空的获得。 工作参数： 实际抽速： 决定于泵体口径和阴极高压 极限真空：10-9 Pa 特点与使用 与旋片机械泵和分子泵配合使用，需要抽预真空(10-6 Pa)；无油污染；超高真空洁净系统；价格昂贵。 钛升华泵 Titanium Sublimation Pumps 钛升华泵内部的电热丝 工作原理： 钛升华泵的工作过程是由控制器通电给升华器(或热丝)，使钛加热到足够高的温度(1100oC)直接升华。升华出来的钛沉积在用水或液氮冷却的表面上，形成新鲜的钛膜层。钛在升化和沉积的过程中，与活性气体结合成稳定的化合物(固相的TiO或TiN)，结果将空间的气体分子抽除了，但是对惰性气体和甲烷几乎不吸附。此外，钛膜吸附气体只能是单分子层的，在已吸附气体分子的位置上不能再吸附气体，因此，钛升华器必须不断地升华，使泵体壁面上不断地沉积新的钛膜，才能达到连续抽气的目的。 工作参数： 启动压力： 1～10-2帕 工作压力范围：10-2～10-8Pa 特点与使用 结构简单、抽速大、无油污染、抗辐射和无振动噪声等特点,启动压力为1～10-2帕，工作压力范围为10-2～10-8帕,是获得无油超高真空的重要真空泵。钛升华泵在电子器件、高能加速器、可控热核反应装置和空间模拟装置，以及表面物理试验等方面都得到广泛的应用。 真空的测量 真空测量的基础： 为了判断和检定真空系统所达到的真空度，必须对真空容器内的压强进行测量。但在真空技术中遇到的气体压强都很低，要直接测量其压力是极不容易的。因此，对真空容器内的压强进行测量都是利用测定在低气压下与压强有关的某些物理量，再经变换后确定容器的压强。当压强改变时，这些与压强有关的特性也随之变化的物理现象，就是真空测量的基础。 真空计的量程： 任何具体的物理特性，都是在某一压强范围内才最显著。因此，任何方法都有其一定的测量范围，这个范围就是该真空计的“量程”。 目前，还没有一种真空计能够测量从大气到10-10Pa的整个领域的真空度。真空计按照不同的原理和结构可分成许多类型。下表列出几种真空计的主要特性。 几种真空计的工作原理与测量范围 名 称 工 作 原 理 测 量 范 围（Pa） U形管压力计 利用大气与真空压差 105～10-2 水银压缩真空计 根据玻义耳定律 103～10-4 电阻真空地 利用气体分子热传导 104～10-2（10-3） 热偶真空计 热阴极电离真空计 利用热电子电离残余气体 10-1～10-6 B-A型真空计 10-1～10-10 潘宁磁控电离计 利用磁场中气体电离与压强有关的原理 1～10-5 气体放电管 利用气体放电与压强有关的性质 103～1 由仪器测量出的真空度与真空室的实际真空度之间可能由于温度的不同而存在误差，而且当气体处于分子流状态，真空室与测试点的气压也有所不同。 pc/pm = (Tc/Tm)1/2 Tc,Tm分别为真空室和测试点的温度 水银真