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KYKY分子泵型号及意义 KYKY分子泵种类 * 进出口法兰、冷却水安装 三、分子泵的应用、维护 高真空口对称均匀拧紧 高真空口对称均匀拧紧 前级拧紧无泄漏 循环水 不滴漏 1.泵入口、出口：正确安装、 密封良好 2.冷却水：无漏水 入口水压0.2MPa 水温20±５℃ 水质澄清无沉淀 注意： 环境温度 风冷需小于32℃;水冷可至40℃ 入口压强 强制风冷0.1Pa;自然风冷0.01Pa * 冷却要求： 由于轴承的高速旋转摩擦，加热器烘烤的热辐射及电机处于真空环境中散热慢等原因，必须在分子泵工作时对轴承和电机进行冷却。 （1）水冷：采用清洁低沉淀的自来水，也可采用冷却水系统。对于高沉淀或腐蚀性水建议采用循环水系统，以防水管堵塞或腐蚀。冷却水流量不应低于1升/分，温度不应高于25℃，温度较高时，应加大冷却水流量。水嘴所接的水管内径为10mm, 分子泵的工作环境温度为不大于40℃。 （2）风冷：用风机进行强制空冷，一般要求环境温度小于 32℃，用户直接将风机插头接通220V电源即可。 三、分子泵的应用、维护 * 电缆安装 （1）对正槽口插入 （2）拧紧螺母，边插边拧 （3）检查到位，防止接触不良 三、分子泵的应用、维护 * 三、分子泵的应用、维护 （1） 启动条件： 连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度 （2）启动时间： 同时启动——小系统，防前级泵油上返。 延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵，至系统压强P=200Pa时，启动分子泵。 1）观察前级规压强； 2）经验判断。如前级泵在到达极限时声音变小； 3）粗略估算： 判定标准：被抽系统为V[m3],前级泵抽速为Sr[m3/h] 同启：Sr/V＞40[h-1] 迟启：Sr/V≤40[h-1] 启 动： * （1）10-4Pa的真空系统，原则上不必烘烤。 （2）10-6Pa的真空系统，系统本身需要烘烤。 （3）最好用分子泵本身附带的加热装置。若要自己缠加热带烘烤，泵体的烘烤温度应低于100℃，与泵口联接的高真空法兰不得高于120℃，真空系统的烘烤温度一般小于300℃ （4）烘烤应在分子泵运转情况下进行。 （5）烘烤时间4h。 三、分子泵的应用、维护 使用——烘烤 * 三、分子泵的应用、维护 停机 （1）按下停止键，待电源显示频率降到0后，再关闭前级泵 （2）分子泵停机后不宜长时间保持真空，以防前级机械泵油蒸汽反扩散（目前前级机械泵都有防返油的措施，如挡油盖等比较普遍的是外加隔断放气阀） （3）分子泵停转后，关闭冷却水，防止在泵内形成冷凝水 ★长时间不用请将水冷套内水清空，以防腐蚀水冷套★ * 三、分子泵的应用、维护 1、润滑油：普通润滑油和防腐油，不可混用 2、换油时间： 首次1000小时更换； 以后，每工作4000小时更换，即使工作时间不足4000小时，一年内至少更换一次。 如果经常烘烤或大负载或抽除腐蚀性气体，润滑油充注及更新时间间隔应缩短。 3、换油方式：油绳和油池 4、润滑油量：油标上下限之间 5、换油时，油池应清洗干净 换油 * 分子泵维护——清洗、换轴承 需要清洗的情况： 漏气和脱附气率没有变化的情况下，无法达到应有的真空性能，甚至长时间烘烤也不能恢复其真空性能 系统存在大量粉尘类衍生物，或者有固体、液体等进入分子泵内 需要换轴承的情况： 较大的噪音和振动 启动后，长时间无法达到正常转速且过谐振点有较大噪音——需排除系统泄露、润滑失效等情况 分子泵油短时间内变黑，更换后短时间内再次变黑——需排除冷却不好、系统衍生物等情况 除110型分子泵在适当情况下可自行进行简单清洗外（见说明书），其他型分子泵必须返回厂家进行清洗。换轴承必须返回厂家进行 三、分子泵的应用、维护 * 三、分子泵的应用、维护 使用中的注意事项： 防止大气冲击(少用玻璃真空计)★ 防止粉尘及颗粒进入. 防止有大的震动及开机移动. 工作场应避免与高压,高频设备共用电源. 应远离磁性缘,尤其110泵应采取隔离磁措施. ★ 冷却水应保持流量及温度. 分子泵本身具有高频振动,所以在安装时应考虑到共振问题.同时,在应用于光学,电子,激光设备时,要注意振动的影响. ★ 注意润滑油的安装及定时更换. 运输中防止撞击及倒置。 真空室内少用放气量大的材料 * 使用——大气载、热气体、突变气载 1. 引起问题： 温度升高 动静片变形 转子上移 润滑失效5℃原则 轴承失效 2.