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一、机械泵 机械泵是指利用机械方法对被抽容器进行抽气而获得真空的设备，也被称为机械真空泵。 1.机械泵简介 机械泵由电机和泵体两大部分组成。普通型机械泵由电机通过皮带带动泵轴旋转；直连型机械泵是电机直接与泵轴连接，无中间传动环节。机械泵是利用气体膨胀、压缩、排出的原理，把气体从容器里抽出的。之所以称之为机械泵，是因为它是利用机械的方法，周期性地改变泵内吸气腔的容积，使容器中的气体不断地通过泵的进气口膨胀到吸气腔中，然后通过压缩经排气口排出泵外。改变泵内吸气腔容积的方式有活塞往复式、定片式和旋片式，分别称为往复式机械泵、定片式机械泵和旋片式机械泵。由于实际应用中，旋片式机械泵使用较多，现以旋片式机械泵为例说明其工作原理。 2.机械泵工作原理 旋片机械泵的结构如图一所示，主要由圆柱空腔定子、偏心转子、旋片、弹簧、顶盖和排气阀等零件组成。偏心转子的顶端始终保持与泵体定子内腔接触，当偏心转子旋转时，始终沿定子的内壁滑动。转子上开有两个滑槽，分别安装一个旋片，中间有一个弹簧，当旋片随转子旋转时，借助弹簧张力和离心力，使两旋片紧贴在定子内壁滑动。整个空腔放在油箱内[1]?。 两个旋片把转子、定子内腔和定盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三个部分，分别叫做吸气腔、压缩腔和排气腔。当转子按图示方向旋转时，与进气口相通的空间A的容积不断地增大，A空间的压强不断地降低，当A空间内的压强低于被抽容器内的压强，根据 HYPERLINK /subview/2028998/2028998.htm \t _blank 气体压强平衡的原理，被抽的气体不断地被抽进吸气腔A，此时压缩腔B空间的容积正逐渐减小， HYPERLINK /subview12120284.htm \t _blank 气体压力不断地增大，同时与排气口相通的排气腔C的容积进一步地减小，排气腔C的空间压强进一步地升高，当气体的压强大于排气压强时，被压缩的气体推开 HYPERLINK /subview/153470/153470.htm \t _blank 排气阀，穿过油箱内的油层而排至大气中。如图二所示，在泵的连续运转过程中，不断地进行着吸气、压缩、排气过程，从而达到连续抽气的目的。 显然转子的转速愈快，则泵的抽速愈大。机械泵的转速一般在450~1400r/min之间，因为转速太高，密封极为困难。排气阀浸在油里，以防止大气流人泵中。为保证吸气腔和排气腔之间不漏气，除保证紧密接触之外，还采用蒸气压力较低且有一定薪度的专用机械泵油，并使油通过泵体上的间隙、油孔及排气阀进人泵腔，使泵腔内所有运动的表面被油覆盖，形成了吸气腔与排气腔的密封。此外机械泵油还起着润滑和帮助在 HYPERLINK /subview/2028998/2028998.htm \t _blank 气体压强较低时打开 HYPERLINK /subview/3789511/3789511.htm \t _blank 排气阀门的作用。同时机械泵油还可充满了一切有害空间，以消除它们对 HYPERLINK /subview/66427/66427.htm \t _blank 极限真空的影响[1]?。 上面讨论的机械泵只有一个转子，称为 HYPERLINK /subview/8039898/7947489.htm \t _blank 单级旋片式真空泵，它所能达到的极限压强为1Pa。为提高极限压强，通常采用双级泵结构，即将两个 HYPERLINK /subview/5535027/5573384.htm \t _blank 单级泵串联起来，可使极限压强达到Pa HYPERLINK /subview/181910/181910.htm \t _blank 数量级。 3.特点 成本低廉、经济耐用 工作范围：大气~低真空  HYPERLINK /subview/66427/66427.htm \t _blank 极限真空： 10-3?torr (0.1Pa) 缺点：返油、振动 4.使用与维护 更换机械泵油 清洁抽气入口处滤网 维护 HYPERLINK /subview/2088344/2088344.htm \t _blank 油过滤器滤芯[2]? 二、分子泵 分子泵是利用高速旋转的转子把 HYPERLINK /subview/280029/280029.htm \t _blank 动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。 1.分类 这种泵具体可分为： 1) HYPERLINK /subview/7299934/7450378.htm \t _blank 牵引分子泵?气体分子与高速运动的转