HeNe双频激光器频差激光内雕赋值法.pdfVIP

物理 学 报 ActaPhys．Sin．Vo1．63，No．6(2014) 064201 HeNe双频激光器频差的激光内雕赋值法冰 朱守深 张书练十 刘维新 牛海莎 (清华大学，精密测试技术及仪器国家重点实验室，北京 100084) (2013年9月 lO日收到；2013年l2月9日收到修改稿) 在精密测量领域，HeNe激光器是制造激光干涉仪的首选．但能够产生中频差4～40MHz的双折射一塞曼 双频HeNe激光器的频差是随机的，小到几百kHz，大到十几MHz．为了让频差能够满足制作双频激光干涉仪 的要求，曾出现过弹性加力法、钻孔应力调节法等调整和频差赋值的方法．但这些方法在实际应用中都不是很 理想．采用激光 内雕法赋值频差，通过在激光器的平面输出镜 内部雕刻出不同图案，使平面镜内部产生满足 要求的相位延迟，达到为频差赋值的 目的．激光 内雕法有很多优点：不损害激光器，美观；功率损失小，出光强 度可接近原始光强度；可反复赋值，频差在0—60MHz范围内可调整：频差的稳定性好，采用稳频措施后频差 的波动范围小于每小时 10kHz． 关键词：双折射一塞曼，频差，HeNe激光器，激光 内雕 PACS：42．25．Lc，42．25．Hz，43．25．Jh，32．60．+i DOh10．7498／aps．63．064201 频差，但这种方法因为没有复现性而被放弃．文献 1 引 言 f2]和厂家采用声光移频的方法来产生频差，但系统 庞大复杂，成本很高，不利于推广使用．文献 3『]中 由于He—Ne激光器有 良好的频率稳定性 一直 使用双纵模稳频，产生了1GHz以上的频差，但功 是外差式双频激光干涉仪的首选光源，被广泛用于 率很弱，且后续处理 电路非常复杂．文献 f4]通过在 先进制造行业和纳米技术领域作为距离测量、速度 测量、振动测量、形貌测量、实时位置测控等．双频 腔 内插入双折射器元件的方法，得到了40MHz以 激光干涉仪的频差决定了干涉仪可测量的 目标运 上的大频差，但使用半外腔式HeNe激光器，也不适 动速度大小，输出功率决定了干涉仪带负载能力和 用于双频激光干涉仪 的制作．因此，目前适合双频 测量距离．为满足高速测量和多 自由度测量的需 激光干涉仪发展需求的频差应该为5—10MHz，输 求，双频激光干涉仪的光源系统要有更高的输 出功 出总功率大于0．7mW． 率和更大的频差． 采用弹性加力 []和钻孔应力调节 [0]的双折 国外中、小频差激光干涉仪一般采用纵向塞曼 射一塞曼激光器也可 以获得较大的频差和功率输出， 效应产生频率分裂，使HeNe激光器输 出两正交圆 但前者控制复杂，频差稳定性很差：后者对激光器 偏振光．但这种原理获得的频差一般小于4MHz， 的损害很大，影响了激光器的寿命，频差的稳定性 且随着频差增大，输 出光功率会迅速下降．在普通 也较差． HeNe激光器的垂直方向加磁场使激光产生频率分 裂的横 向塞曼效应可以输出两正交线偏振光，但频 激光 内雕机通常用于水晶像的制作．采用激光 差比纵 向塞曼效应更小，一般为 1MHz以下，无法 内雕法赋值频差既可 以获得较大的频