GB/T 25186-2010表面化学分析　二次离子质谱　由离子注入参考物质确定相对灵敏度因子.pdf

ICS71．040．40 G04 a雷 GB／T25186—2010／ISO 表面化学分析 二次离子质谱 由离子注入参考物质确定 相对灵敏度因子 Surfacechemical mass analysis--Secondary—ionspectrometry-- from Determinationofrelative factors sensitivity referencematerials ion-implanted (ISO18114：2003，IDT) 2010-09-26发布 201 宰瞀髁紫瓣警糌瞥星发布中国国家标准化管理委员会促19 18114：2003 GB／T25186—2010／ISO 前 言 本标准等同采用ISO 灵敏度因子》。 为了方便使用，本标准做了下列编辑性修改： ——用“本标准”代替“本国际标准”。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。 本标准起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心。 本标准主要起草人：马农农、何友琴、何秀坤。 18”4：2003 GB／T25186—2010／ISO 引 言 在二次离子质谱分析中，常使用离子注人物质校准仪器。 本标准将提供一种统一的方法：由离子注入参考物质来确定某种元素在特定基体中的相对灵敏度 因子，并说明如何确定具有相同基体材料的不同样品中该元素的浓度。 Ⅱ 18114：2003 GB／T25186—2010／Iso 表面化学分析 二次离子质谱 由离子注入参考物质确定 相对灵敏度因子 1范围 本标准指定了一种由离子注入参考物质确定二次离子质谱分析中相对灵敏度因子的方法。 本标准适用于基体化学成分单一的样品，其中注入物质的峰值原子浓度不超过1％。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注El期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB／T 22461--2008表面化学分析词汇(ISO18115：2001，IDT) 3术语和定义 GB／T 22461--2008界定的术语和定义适用于本文件。 4符号及缩略语 C。“”深度剖析的第i个周期时，被分析元素A在基体M中的原子浓度，用单位体积原子个数 表示； d深度剖析中求积分用的深度，用长度单位表示； J。4在测试的第i周期时，同位素Aj的被分析离子检测计数率，用计数／s表示； f。“ 在测试的第