光电位置传感器及光电位置测量.pdfVIP

。 哈 尔 滨 科 学 技 术 大 学 学 报 第 l8卷 第 4期 ＼， J0URNALHARBIN UNIV．SCI． TECH 。 VO1．18No．4 1994年 12月 ，r Dec．1994 、，r 光 电位置传感器及光 电位置测量 袁 峰 丁振良 蒋作民 强锡富 谭定忠 (哈尔演工业大学) 摘 要 对目前已研制出的多种光电位敏元件及位置测量方法进行了系统的归 纳分类，并结合作者本人的研究工作，对这些方法进行了综合评述 ． 关键词 住敏元件 位置测量 定位 分类号 TM930．126 光电位置测量是许多测量过程的基础，许多角位移和线位移的测量都可以转换为位置的测 量，其中很广泛的一类测量是基于光线偏转原理 。因此，光线位置的精密测量是许多测量过 程的关键，也是许多领域研究人员共同关注的问题 ．目前已经研制出多种光电位敏元件并在 其使用方面做了大量的研究工作，本文对这些研究进行了系统的归纳分类，并结合作者的 研究工作 ¨对这些方面进行比较 ．由于涉及面较广，本文只讨论简单光学图像的位置 测量 。 1光电位置测量方法分类 一 般位置测量系统由光学系统、位敏元件、前置电路、数据处理等部分构成，有的系统还有 。 反馈执行元件，因此，光电位置测量从不同角度可以有几种不同的分类方法，如按所使用的位 敏元件类型分类、按提取的位置特征分类、按测量系统的工作状态分类等。其中按所用位敏 元件分类是比较重要的分类方法 ． 位敏元件总的来说可分为三类 ．第一类是单探测器类，包括光电倍增管、光电二极管(含光电 池)、光敏电阻等，利用机械扫描或电子扫描(析像管)装置，将输入辐射调制成空间位置信 号 ．另外通过测量已知分布的光辐射信号的光通量也可进行位置测量，其输出也能反映一维 位置信息．第二类是具有连续位置检测能力的光电探测器PSD，它有面型和线型两种，其输 出含有光信号亮度信息和亮度重心位置信息．笫三类是阵列器件，是目前发展较快、应用较多 的光电探测器 一般分为半导体类和电子管类。半导体类包括光敏二极管阵列、CCD像感 器、像限光敏二极管或光电池，由线型PSD构成的面阵等 ．电子管类包括象限倍增管、光 导摄像管及侈像正析像管 ．由于阵列本身就形成一个坐标系。因而非常适于位置测量 ．阵列 传感器相对前两种探测器能获得更多的信息，如光信号的空间分布，背景分布的情况等 ．不仅 如此，还能容易地同时获取多个光信号的位置信息 。此外还可将光敏元件 成各种特殊形状 (如十字线肜、环形、扇形)以满足不同需要 ． 按提取位置特征的类型可以有不同的定位方法” ．一个简单光学图像的位置可以用以 下方法表示：信号的边缘，亮度中心、峰值坐标以及整个图像分布与已知样板的匹配情况等 。 一 般箍Fl期 ·，l§q4—03～30 22 哈 尔滨 科学 技术大学学 报 第 l8卷 根据位置测量系统的工作状态，位置测量系统可以工作在开环状态或闭环状态 ．闭环工作状 态通常可提高位置测量精度、扩展系统线性范围等，但这些都是以增加系统复杂性为代价的． 2光电位敏元件的主要性能 早期的光电位敏元件主要是光电发射型探测器，有光电倍增管，析像管 光导摄像管及 移像正析像管 ．其共同特点是体积大，需高压电源，易受磁场干扰 (通常需要屏蔽)，摄像管