【2017年整理】扫描电子显微分析与电子探针.ppt

第十章 扫描电子显微分析与电子探针;序;序;SEM;SEM;SEM;SEM;特点 ;特点;§10.1 扫描电子显微镜的结构和工作原理;1．电子光学系统;1．电子光学系统;(1)电子枪（electron gun） ;(2)电磁透镜（electromagnetic lens） ;(2)电磁透镜;(3)扫描线圈（scanning section coil） ;;(4)样品室（sample chamber） ;(4)样品室;2．信号收集和显示系统;信号收集;2．信号收集和显示系统;3．真空系统和电源系统;二、工作原理;三、扫描电子显微镜的主要性能;1．放大倍数（magnification）;2．分辨率（resolution）;2．分辨率（resolution）;2．分辨率（resolution）;2．分辨率（resolution）;2．分辨率（resolution）;3．景深（depth of field / depth of focus）;四、样品制备;§10.2 表面形貌衬度原理及其应用;表面形貌衬度;凸出的尖棱、小粒子以及比较陡的斜面处二次电子产额较多，在荧光屏上这些部位的亮度较大；平面上二次电子的产额较小，亮度较低；在深的凹槽底部虽然也能产生较多的二次电子，但这些二次电子不易被检测器收集到，因此槽底底衬度也会显得较暗 ;探测效果;表面形貌衬度的应用 ;1．材料表面形态（组织）观察;烧结体烧结自然表面观察;烧结体烧结自然表面观察;2．断口形貌观察;2．断口形貌观察;3．磨损表面形貌观察;金相表面观察 ;4．纳米结构材料形态观察;5．生物样品的形貌观察;;聚合物材料形貌分析;SEM micrographs of fracture surfaces of a polymer blend. a) Charpy fracture, b) Three-Point-Bending fracture. The width of the images refers to 60 μm. ;PVC/NBR reinforced by polyester;Nylon Fiber;Tetra-pod like ZnO Whisker;A semi-conducting polymer composite. The electrically conducting carbon black particles give a strong contrast.;The paper surface coated with polyvinyl alcohol. a) is a cross section image of the paper surface. b) shows the boundary line between the PVA and the paper. The width of the images refer to 500 μm ;Nylon-6 reinforced by T-ZnO Whisker; 原子序数衬度原理及其应用;SE and BE ;背散射电子;原子序数衬度像;;§10.3 电子探针X射线显微分析;电子探针X射线显微分析;一、电子探针仪的结构与工作原理;1、波谱仪（WDS）的结构和工作原理;分光和探测原理;聚焦圆;聚焦圆;回转式波谱仪和直进式波谱仪;回转式波谱仪;X射线出射方向变化;直进式谱仪;直进式谱仪;分光晶体;分光晶体;X射线探测器;X射线记数和记录系统;波长色散谱 ;2、能谱仪（EDS）的结构和工作原理;锂漂移硅Si(Li)探测器;锂漂移硅Si(Li)探测器;锂漂移硅Si(Li)探测器;能谱仪的结构;能谱仪的工作原理;能谱仪的工作原理; ;波谱仪和能谱仪的比较 ;波谱仪和能谱仪的比较;波谱仪和能谱仪的比较;波谱仪和能谱仪的比较;;四、电子探针仪的分析方法及应用;(1) 定点定性分析;能谱定性分析;能谱定性分析;波谱定性分析;波谱定性分析;(2) 线扫描分折;(2) 线扫描分折 ;(2) 线扫描分折;(3) 面扫描分析;(3) 面扫描分析;(4) 定量分析;SEM+(WDS+EDS);2．电子探针仪的应用;(1) 组分不均匀合金试样的微区成分分析;微区成分分析;(2) 扩散对试样中成分梯度的测定;(3) 相图低温等温截面的测定;试样中的成分;(4) 金属／半导体界面反应产物;化合物的成分;总结;总结;总结;总结