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几何量电子传感测量 测量工程研究所 叶晓明 微位移测量 概述 电阻式位移传感器 电阻应变式位移传感器 电容式位移传感器 电感式位移传感器 容栅式位移传感器 感应同步器 磁栅式位移传感器 概述 前边所介绍的多半用于大尺度的几何量测量，而在工程领域常常需要对一些相对微小的位移尺度进行测量，这通常由位移传感器来实现。 位移传感器包括： 线位移传感器 角位移传感器 而倾斜传感器则是以重力线为参照基准的角位移传感器 位移传感器 按形式分： 线位移 角位移 按物理原理分： 电阻式、 电容式、 涡流式、 压电式、 感应同步式、 磁栅式、 光电式等等 位移是指 物体的某个表面或某点相对于参考表面或参考点位置的变化。 线位移是指 物体沿着某一条直线移动的距离； 角位移是指 物体绕着某一定点旋转的角度。 在机械工程中经常要精确测量零部件的位移或位置，并且力、压力、扭矩、速度、加速度、温度、流量等参数也可经转换为位移进行测量。 位移传感器的分类 电位器式传感器 电位器是常用的一种电子元件， 它可以将机械位移或其他能变换成位移的非电量变换为电阻值的变化， 并容易转换成电压的变化。 电位器式传感器的优点： 结构简单， 价格低廉， 性能稳定， 对环境条件要求不高， 输出信号大， 易于转换， 便于维修。 其缺点： 存在摩擦， 分辨力有限， 精度不够高， 动态响应较差， 仅适于测量变化较缓慢的量， 常用作位置信号发生器。 电阻体是由电阻系数很高的极细均匀导线，按照一定的规律整齐地绕在一个绝缘的骨架上制成的。 在它与电刷相接触的部分，将导线表面的绝缘去掉，然后加以抛光，形成一个电刷可在其上滑动的接触道。 电刷通常是由具有弹性的金属薄片或金属丝制成，其末端弯曲成弧形，利用电刷与电阻本身的弹性变形产生的弹性力，使电刷与电阻元件有一定的接触压力，以使两者在相对滑动过程中保持可靠的接触和导电。 电位器常用的电阻丝材料为铜镍合金（铜60％、镍40％），电刷为磷青铜，骨架为陶瓷酚醛树脂等。 二、差动变压器 1. 差动变压器的结构与原理 差动变压器是互感式差动电感传感器。 它的结构分为变隙式和螺管式两种。 由于变隙式行程很小(l0＜0.5 mm)， 结构也很复杂， 目前多采用螺管式。 螺管式差动变压器的结构仍包括线圈、 铁芯、 衔铁和测杆等。 线圈排列的方式有二节型、 三节型和多节型几种。 线圈由一次侧线圈、二次侧线圈和骨架组成。 骨架常采用绝缘、高频损耗小、抗潮湿、 温度膨胀系数小的材料制成圆柱形。 三、电涡流式传感器 电涡流式传感器的工作原理 成块的金属物体置于变化着的磁场中或者在磁场中运动时， 在金属导体中会感应出一圈圈自相闭合的电流，称为电涡流。 电涡流式传感器是一个绕在骨架上的导线所构成的空心线圈， 它与正弦交流电源接通，通过线圈的电流会在线圈周围空间产生交变磁场。当导电的金属靠近这个线圈时，金属导体中便会产生电涡流。涡流的大小与金属导体的电阻率ρ、 磁导率μ、厚度d、线圈与金属导体的距离x以及线圈励磁电流的角频率ω等参数有关。如果固定其中某些参数，就能由电涡流的大小测量出另外一些参数。 1.感应同步器结构 包括定尺和滑尺，用制造印刷线路板的腐蚀方法在定尺和滑尺上制成节距T(一般为2mm)的方齿形线圈。定尺绕组是连续的，滑尺上分布着两个励磁绕组，分别称为正弦绕组和余弦绕组。当正弦绕组与定尺绕组相位相同时，余弦绕组与定尺绕组错开1/4节距。滑尺和定尺相对平行安装，其间保持一定间隙（0.05~0.2mm）。 2.感应同步器的工作原理 在滑尺的绕组中，施加频率为f（一般为2~10kHz）的交变电流时，定尺绕组感应出频率为f的感应电动势。感应电动势的大小与滑尺和定尺的相对位置有关。 设正弦绕组供电电压为Us，余弦绕组供电电压为Uc，移动距离为x，节距为T，则正弦绕组单独供电时，在定尺上感应电势为 余弦绕组单独供电所产生的感应电势为 3. 测量方法 根据对滑尺绕组供电方式的不同，以及对输出电压检测方式的不同，感应同步器的测量方式有鉴相式和鉴幅式两种工作法。 (1)鉴相式工作法 滑尺的两个励磁绕组分别施加相同频率和相同幅值，但相位相差90o的两个电压，设 1.磁栅式位移传感器的结构 2.原理： 在用软磁材料制成的铁芯上绕有两个绕组，一个为励磁绕组，另一个为拾磁绕组，将高频励磁电流通入励磁绕组时，当磁头靠近磁尺时在拾磁线圈中感应电压为： 3.测量方式 (1)鉴幅测量方式 如前所述，磁头有两组信号输出，将高频载波滤掉后则得到相位差为π/2的两组信号 两组磁头相对于磁尺每移动一个节距发出一个正（余）弦信号，经信号处理后可进行位置检测。这种方法的检测线路比较简单，但分辨率受到录磁节距