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TFT-LCD的基本制造流程 Array Fabrication Array Pattern Inspection Array Repair Array Test Cell Assembly Array Repair Cell Inspection Cell Repair Module Assembly Module Inspection Module Repair 在玻璃基板上形成TFT电路、像素电极以及必要的引线和各种标记 形成液晶盒，组建完整的光学系统 组装驱动电路和背光源，形成独立的，标准外部接口的模块 流程总述： TFT-LCD的基本制造流程 ARRAY TFT-LCD的制作工艺主要分为Array、Cell和Module3个工艺流程。其中Array工艺主要负责为Cell工艺提供阵列基板。 Array就是从一张玻璃基板开始，不断经过成膜、曝光和刻蚀三个工序的循环，最终在玻璃基板上做出我们所需要的TFT阵列的图形来。 TFT-LCD的基本制造流程 ARRAY流程图 沉积 清洗 PR涂附 曝光 显影 刻蚀 PR剥离 检查 Wet Etch Dry Etch TFT-LCD的基本制造流程 CELL流程图 VACUUM ALIGNER Seal/Tr Module TFT C/F CLEANING Rubbing Spacer