电能质量分析仪对半导体工厂的电压暂降监测与分析应用.docxVIP

电能质量分析仪对半导体工厂的电压暂降监测与分析应用当代的电力供应已经变得很可靠，长时间的电力中断非常少见，但随着设备变得更加敏感，电压暂降问题越来越受关注。现在工业界面临的最大电能质量问题是电压暂降事件，据美国电科院统计，电压暂降占据了超过92%的电能质量事件，工厂无法事先得到即将到来的电压暂降的警告。雷击、短路故障和大电机启动都是引起电压暂降的主要原因，其他如大风、下雪、车祸、建筑施工、挖掘机挖断电缆、动物触线、线路切换、配电装置故障等也会导致产生电压暂降。因此无论电力公司花多少代价来改善电网，但是还是无法避免电压暂降或暂升等电力品质问题的发生，给电力用户带来不良影响。现代化的半导体生产设备对电力品质问题非常敏感，相对于传统工业来说，半导体，LCD制造具有超微细加工及高洁净度生产环境要求的特点，除需要有极其纯净而且稳定的供水、供气等等之外，对供电质量的要求也非常之高，仅仅是瞬间的电压暂降都可以使产线停机并导致巨大的经济损失。停机的概念在传统产业中只是生产暂时的中断，而对半导体，LCD生产来说就是一次灾难。因为半导体，LCD生产设备的停机会造成大量直接损失和间接损失。 这些损失包括：直接损失：半导体产品硅片损坏和浪费、设备寿命缩短甚至损坏、清理产线的人工成本等。间接的损失：重新启动生产线需要的时间、降低产品品质、延误交货时间等。每一次停机所造成的经济损失在半导体行业不是以千元