现代光学玻璃精密器件技术介绍介绍.pdfVIP

                                                                 现代光学玻璃精密器件技术介绍 1. 何为精密光学玻璃器件  现代物理发展中随着原子分子物理研究的深入，对光学器件的精密化程度提出 了更高的要求, 例如做原子冷却，光频标领域中会使用到石英玻璃真空腔器件来搭建磁 光阱进行原子囚禁，这时会对真空腔的真空度，玻璃表面的平整度以及表面镀膜性能有 极高的要求，这时候就需要对玻璃进行精密加工以满足其光学性能。所用到的材料包括 石英玻璃和 PYREX玻璃等。                        典型的磁光阱结构                 各种真空腔结构                                                                   2. 现代光学玻璃精密仪器制造所用技术 a)光胶合工艺（原子键合技术） 原理: 通过两个互相分开的部件表面上的原子之间的互相作用(相当  于原子键, 远远超过共价键等),再辅佐以特殊的后续处理等,使得 两个原先分离的界面,永久的紧密 结合(融合)。
性能: 通过原子级的结合,a)不仅结合强度极高‐‐‐相当于一个无法分 开的 整体结构,强度超过 8MPa;b) 气密性极高‐‐‐目前的测定条件  下,超过 10‐11m Pa M3/Sec  气密性。c) 界面没有光吸收;d)可以作 为光学核心元件,也可以作为具有复杂内部结构的 机械核心元件。  已经被广泛地使用在各类科技前沿的领域中。使用温度条件是材料 本 身的软化点等。例如石英材料制作的成品,可以高到 1200 度以上。   b)光敏或者热敏胶合技术          常温条件下,通过使用光敏或者热敏胶,胶合的成品具有光学特性。缺点是不耐高 温,一般‐20 度到+60 度,主要使 用于民用产品。   c) 玻璃粉胶合技术  应用特殊微细玻璃粉作为胶合材料,可以制作各类形 状的光学部件。具有耐高 温(400~900°C),超高结合强度的优点。缺  点是胶合面上存在光吸收。主要使用在暴光机 等中,与胶合平行方向(不  穿过胶合层)作为通光方向時使用。   d) 高温烧制结合技术          虽然是最原始的玻璃结合技术,不过精度非常之高, 可以达到微米 um  级精度。     3. 主要应用 医疗仪器中的各种 Flow-cell,曝光机中使用的椭圆反射镜，各类 MOT 超高真空 腔，生化分析成型玻璃比色皿，MEMS 领域使用的石英材质的微芯片。